[发明专利]气体传感器及其制造方法

说明书

本发明提供一种气体传感器及其制造方法，包括：衬底、输出层、传感层以及纳米多孔聚合物膜。输出层配置于衬底上。传感层配置于输出层上。纳米多孔聚合物膜配置于传感层上。本发明提供的气体传感器及其制造方法具有极佳的耐用度与功能表现。

技术领域

本发明涉及一种气体传感器及其制造方法，尤其涉及一种具有纳米多孔聚合物膜的气体传感器及其制造方法。

背景技术

现有的气体传感器通过在传感层上设置具有微孔道的材料，以使尺寸小于微孔道的气体分子通过微孔道，而与传感层接触。反之，尺寸大于微孔道的气体分子则无法通过微孔道，故其无法接触传感层。

然而，现有具有微孔道的材料为阳极氧化铝。由于阳极氧化铝为金属氧化物材料，其与传感层的贴合度不足，因而易造成气体传感器耐用度不足的问题。

发明内容

本发明提供一种气体传感器及其制造方法，具有极佳的耐用度与功能表现。

本发明提供一种气体传感器，包括：衬底、输出层、传感层以及纳米多孔聚合物膜。输出层配置于衬底上。传感层配置于输出层上。纳米多孔聚合物膜配置于传感层上

在本发明的一实施例中，上述的纳米多孔聚合物膜的孔洞的直径为0.2纳米至20纳米。

在本发明的一实施例中，上述的纳米多孔聚合物膜的厚度为0.05微米至150微米。

在本发明的一实施例中，上述的纳米多孔聚合物膜的材料包括全氟磺酸聚合物、纳米纤维素或其组合。

在本发明的一实施例中，上述的纳米多孔聚合物膜包括离子型结构。

在本发明的一实施例中，上述的输出层包括电极。

在本发明的一实施例中，上述的衬底的表面包括平面、粗糙面、曲面或其组合。

本发明也提供一种气体传感器的制造方法，包括：形成输出层于衬底上；形成传感层于所述输出层上；以及形成纳米多孔聚合物膜于所述传感层上。

在本发明的一实施例中，上述的形成输出层、形成传感层以及形成纳米多孔聚合物膜的步骤所采用的方法包括三维打印。

在本发明的一实施例中，上述的形成纳米多孔聚合物膜的步骤的方法包括进行溶液处理。

基于上述，本发明的纳米多孔聚合物膜中具有微小的孔洞，选择性地让较小的分子通过，并将较大的分子阻挡在外。此外，纳米多孔聚合物膜位于气体传感器的传感层上，可提供传感层较佳的保护。因此，本发明的气体传感器具有极佳的耐用度与功能表现。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明一实施例的气体传感器的示意图。

图2是本发明一实施例的气体传感器的剖面示意图。

图3是本发明一实施例的气体传感器的制造方法的流程图。

附图标记说明：

100：气体传感器

102：衬底

104：输出层

106：传感层

108：纳米多孔聚合物膜

S100、S102、S104：步骤

具体实施方式