[发明专利]无掩膜实时微纳打码系统有效
申请号: | 201710064032.1 | 申请日: | 2017-02-04 |
公开(公告)号: | CN106773552B | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 梅文辉;汪孝军;廖平强 | 申请(专利权)人: | 深圳市优盛科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人: | 冯汉桥 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西丽街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 无掩膜 实时 微纳打码 系统 | ||
1.一种无掩膜实时微纳打码系统,其特征在于:包括:
打码数据生成服务器,按照固定的编码规则,对FPC基材上不同位置的工程图形来实时进行编码,并生成若干具体的不相重复的编码图形;
光学引擎机构,用于将实时生成的编码图形实时光刻在FPC基材上;
对位机构,用于识别FPC基材上用于确定编码图形位置的标记点,从而使光学引擎机构能够将编码图形光刻在FPC基材上的标记点处,且所述对位机构识别一组标记点,打码数据生成服务器即生成一组相应的编码图形,光学引擎机构即刻将该编码图形光刻在FPC基材上;
卷到卷上下料机构,用于实现FPC基材的输送及收集,其包括用于将FPC基材送入光学引擎机构进行打码的卷进上料机构及将打码完成的FPC基材回收的卷出卸料机构,
自监测反馈机构,用于检测FPC基材上的编码图形是否准确,
精密运动平台,用于控制光学引擎机构和对位机构的精准移动,
所述光学引擎机构通过基板安装于精密运动平台上,且光学引擎机构的光学镜头下方设有分光镜,分光镜下方设有照明环形灯,
所述自监测系统装置包括第一视觉装置、第二视觉装置及所述分光镜,所述第一视觉装置及第二视觉装置分别设置于分光镜两侧,所述分光镜位于光学引擎机构的光学镜头的光轴上,且通过第一视觉装置识别从数据服务器生成的编码图形;通过第二视觉装置识别光刻在FPC基材上的编码图形。
2.根据权利要求1所述的无掩膜实时微纳打码系统,其特征在于:所述卷到卷上下料机构带有保证整卷的FPC基材在上下料过程中不发生侧向的偏移纠偏装置。
3.根据权利要求2所述的无掩膜实时微纳打码系统,其特征在于:所述卷进上料机构包括卷有FPC基材的上料辊轮、及用于张紧FPC基材的上料张紧力调节辊轮和压紧FPC基材的上料压紧辊轮;卷出卸料机构包括有用于收卷打好码的FPC基材的卸料辊轮、及用于张紧FPC基材的卸料张紧力调节辊轮和压紧FPC基材的卸料压紧辊轮。
4.根据权利要求1所述的无掩膜实时微纳打码系统,其特征在于:所述对位机构包括两套安装于精密运动平台的Y轴移动机构上的对位CCD组件及运动控制装置,且对位CCD组件分别位于光学引擎机构的两侧,所述对位CCD组件均通过对应的运动控制装置控制其在垂直于FPC基材运动方向的移动。
5.根据权利要求1所述的无掩膜实时微纳打码系统,其特征在于:所述第一视觉装置及第二视觉装置均包括工业CCD、光学放大镜头和照明光源,其中第一视觉装置的焦面位于分光镜的镜面,第二视觉装置的焦面与光学镜头的焦面一致。
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