[发明专利]无掩膜实时微纳打码系统

说明书

本发明公开了一种无掩膜实时微纳打码系统，本系统包括一连续对FPC基材进行激光微纳打码的激光直写曝光装置，卷对卷上下料装置和实时打码监测反馈系统，通过上述结构不需要掩膜板即可以在整卷的FPC基材上任意指定位置进行微纳打码，并且可以对每个打码图形进行实时监测，提高系统的可靠性，本系统不需要掩膜板，也不需要与FPC基材有接触，就可以很快的完成对FPC基材上每个阵列图形的编码，基材不会有刮伤等二次破坏的可能，提高产品的质量，大大提高了产品生产的效率，降低了生产的成本。

技术领域

本发明涉及一种无掩膜直写数字光刻技术，特别是一种无掩膜实时微纳打码系统。

背景技术

在柔性电路板（FPC）的制造领域 ，传统的曝光方式是需要先将工程文件制作在一块掩膜板上，然后将涂有感光胶的FPC基材附在掩膜板上，使用紫外光进行一定时间的照射进行曝光，将工程文件的图形显示在FPC上，这种曝光方式耗时、工序复杂，而且在现有FPC制造的过程中，有些需要对整卷FPC基材上每个陈列排布的工程图形进行打码编号，每个编号均不能重复，但是每块掩膜板图形是固定，因此按照传统的曝光方式就很难实现。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供一种连续对FPC基材进行激光微纳打码的激光直写曝光装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种无掩膜实时微纳打码系统，其特征在于：包括:

打码数据生成服务器，按照固定的编码规则，对FPC基材上不同位置的工程图形来实时进行编码，并生成若干具体的不相重复的编码图形；

光学引擎机构，用于将实时生成的编码图形实时光刻在FPC基材上；

对位机构，用于识别FPC基材上用于确定编码图形位置的标记点，从而使光学引擎机构能够将编码图形光刻在FPC基材上的标记点处，且所述对位机构识别一组标记点，打码数据生成服务器即生成一组相应的编码图形，光学引擎机构即刻将该编码图形光刻在FPC基材上；

卷到卷上下料机构，用于实现FPC基材的输送及收集，其包括用于将FPC基材送入光学引擎机构进行打码的卷进上料机构及将打码完成的FPC基材回收的卷出卸料机构，

自监测反馈机构，用于检测FPC基材上的编码图形是否准确，

精密运动平台，用于控制光学引擎机构和对位机构的精准移动，

所述光学引擎机构通过基板安装于精密运动平台上，且光学引擎机构的光学镜头下方设有分光镜，分光镜下方设有照明环形灯。

所述自监测系统装置包括第一视觉装置、第二视觉装置及分光镜，所述第一视觉装置及第二视觉装置分别设置于分光镜两侧，所述分光镜位于光学引擎机构的光学镜头的光轴上,且通过第一视觉装置识别从数据服务器生成的编码图形；通过第二视觉装置识别光刻在FPC基材上的编码图形。

所述卷到卷上下料机构带有保证整卷的FPC基材在上下料过程中不发生侧向的偏移纠偏装置。

所述卷进上料机构包括卷有FPC基材的上料辊轮、及用于张紧FPC基材的上料张紧力调节辊轮和压紧FPC基材的上料压紧辊轮；卷出卸料机构包括有用于收卷打好码的FPC基材的卸料辊轮、及用于张紧FPC基材的卸料张紧力调节辊轮和压紧FPC基材的卸料压紧辊轮。

所述对位机构包括两套安装于精密运动平台的Y轴移动机构上的对位CCD组件及运动控制装置，且对位CCD组件分别位于光学引擎机构的两侧，所述对位CCD组件均通过对应的运动控制装置控制其在垂直于FPC基材运动方向的移动。

所述第一视觉装置及第二视觉装置均包括工业CCD、光学放大镜头和照明光源，其中第一视觉装置的焦面位于分光镜的镜面，第二视觉装置的焦面与光学镜头的焦面一致。