[发明专利]可靠性管理系统和方法在审
申请号: | 201710066299.4 | 申请日: | 2017-02-07 |
公开(公告)号: | CN108399474A | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 牛刚;赵晓东;于建姝 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G06Q10/06 | 分类号: | G06Q10/06;G06Q10/10;G06Q50/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李浩 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试设备 可靠性管理 实验室管理 可靠性检测 测试数据 产品测试 半导体技术领域 待测试产品 自动化管理 产品信息 单元发送 分析处理 输出 | ||
1.一种可靠性管理系统,其特征在于,包括可靠性实验室管理单元和可靠性测试请求RTR单元,其中:
所述可靠性实验室管理单元用于在接收到所述RTR单元的测试设备请求后,输出相应的测试设备信息至所述RTR单元;
所述RTR单元用于:根据获得的待测试产品的产品信息向所述可靠性实验室管理单元发送所述测试设备请求;以及根据从所述可靠性实验室管理单元获得的所述测试设备信息,从相应的测试设备获取测试数据,并对所述测试数据进行分析处理,以获得产品测试报告,并根据所述产品测试报告判断所述产品是否通过可靠性检测。
2.根据权利要求1所述的可靠性管理系统,其特征在于,还包括:
简易封装单元,用于在接收到所述RTR单元的封装数据请求后,输出相应的封装数据信息至所述RTR单元;
所述RTR单元还用于根据所述产品信息选择测试类型,如果所述测试类型为封装级可靠性工程或产品级可靠性工程,则向所述简易封装单元发送所述封装数据请求;如果所述测试类型为晶圆级可靠性工程,则不向所述简易封装单元发送所述封装数据请求。
3.根据权利要求2所述的可靠性管理系统,其特征在于,还包括:
可靠性指标RI单元,用于根据所述产品测试报告获得所述待测试产品的可靠性参数;所述可靠性参数包括:可靠性指标分数和/或可靠性寿命;
其中,所述RTR单元在所述产品通过可靠性检测后,将所述产品测试报告传送至所述RI单元。
4.根据权利要求3所述的可靠性管理系统,其特征在于,
所述RTR单元具有:质检模式、评估模式、监控模式和/或工艺调节模式;
其中,在所述质检模式下,所述RTR单元获得所有测试类型的产品测试报告,并且将所有产品测试报告传送到文件管理系统和/或RI单元;
在所述评估模式下,所述RTR单元根据测试需要获得至少一种测试类型的产品测试报告,并且将所述产品测试报告传送至所述RI单元;
在所述监控模式下,所述RTR单元定期地获得至少一种测试类型的产品测试报告,并且将所述产品测试报告传送至所述RI单元;和/或,
在所述工艺调节模式下,所述RTR单元获得在工艺条件改变的情况下至少一种测试类型的产品测试报告。
5.根据权利要求1所述的可靠性管理系统,其特征在于,
所述RTR单元还用于在对所述待测试产品选定优先级后,将所述优先级传送到所述可靠性实验室管理单元;
所述可靠性实验室管理单元还用于根据所述优先级安排测试设备的测试时间,并将所述测试时间返回给所述RTR单元。
6.根据权利要求1所述的可靠性管理系统,其特征在于,
所述可靠性实验室管理单元还用于在所述测试设备出现故障时进行报警并锁定,并且在接收到对所述测试设备进行维修的维修报告后对所述测试设备解除锁定。
7.根据权利要求1所述的可靠性管理系统,其特征在于,还包括:
可靠性测试结构设计单元,用于根据获得的晶圆产品的信息生成版图信息,以及根据所生成的版图信息或输入的版图信息获得待测试产品的测试位置,并将所述测试位置传送到所述RTR单元,其中所述待测试产品位于所述晶圆产品上;
所述RTR单元在接收到所述测试位置后,利用相应的测试设备按照所述测试位置对所述待测试产品进行测试。
8.根据权利要求1所述的可靠性管理系统,其特征在于,
所述RTR单元还用于在发现所述测试数据超过预定的报警范围时发出报警信号以进行报警。
9.根据权利要求1所述的可靠性管理系统,其特征在于,还包括:
管理员权限单元,用于在接收到用户的权限请求后,验证所述权限请求是否符合管理者权限要求,如果符合,则允许所述用户执行相应的操作;其中,所述操作包括:登录可靠性管理系统、查看产品测试报告或者修改表单内容。
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