[发明专利]可靠性管理系统和方法在审

专利信息
申请号: 201710066299.4 申请日: 2017-02-07
公开(公告)号: CN108399474A 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 牛刚;赵晓东;于建姝 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G06Q10/06 分类号: G06Q10/06;G06Q10/10;G06Q50/04
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 李浩
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 测试设备 可靠性管理 实验室管理 可靠性检测 测试数据 产品测试 半导体技术领域 待测试产品 自动化管理 产品信息 单元发送 分析处理 输出
【说明书】:

发明公开了一种可靠性管理系统和方法,涉及半导体技术领域。该可靠性管理系统包括:可靠性实验室管理单元,用于在接收到RTR单元的测试设备请求后,输出相应的测试设备信息至该RTR单元;以及该RTR单元用于:根据获得的待测试产品的产品信息向可靠性实验室管理单元发送测试设备请求;以及根据从可靠性实验室管理单元获得的测试设备信息,从相应的测试设备获取测试数据,并对测试数据进行分析处理,以获得产品测试报告,并根据产品测试报告判断产品是否通过可靠性检测。本发明实现了可靠性检测的自动化管理。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种可靠性管理系统和方法。

背景技术

目前,对半导体产品进行可靠性检测后,得到的可靠性相关数据记录在DMS(Document Management System,文件管理系统)中和一些质检(Qualify)资料中,其中只是记录文档号码以及是否质检完。这些资料对RE(Reliability Engineering,可靠性工程)和客户而言还是不完整的,而且很多RE的数据存放在公共文件夹中,没有在系统上管控,一旦人员流失,可能需要花很多时间去找,甚至找不到。一旦发生工艺问题,若没有质检历史或可靠性数据记录,将会影响有问题产品的风险评估。

发明内容

本发明需要解决的一个技术问题是:提供一种可靠性管理系统。

根据本发明的第一方面,提供了一种可靠性管理系统,包括可靠性实验室管理单元和可靠性测试请求RTR单元,其中:所述可靠性实验室管理单元用于在接收到所述RTR单元的测试设备请求后,输出相应的测试设备信息至所述RTR单元;所述RTR单元用于:根据获得的待测试产品的产品信息向所述可靠性实验室管理单元发送所述测试设备请求;以及根据从所述可靠性实验室管理单元获得的所述测试设备信息,从相应的测试设备获取测试数据,并对所述测试数据进行分析处理,以获得产品测试报告,并根据所述产品测试报告判断所述产品是否通过可靠性检测。

在一个实施例中,所述可靠性管理系统还包括:简易封装单元,用于在接收到所述RTR单元的封装数据请求后,输出相应的封装数据信息至所述RTR单元;所述RTR单元还用于根据所述产品信息选择测试类型,如果所述测试类型为封装级可靠性工程或产品级可靠性工程,则向所述简易封装单元发送所述封装数据请求;如果所述测试类型为晶圆级可靠性工程,则不向所述简易封装单元发送所述封装数据请求。

在一个实施例中,所述可靠性管理系统还包括:可靠性指标RI单元,用于根据所述产品测试报告获得所述待测试产品的可靠性参数;所述可靠性参数包括:可靠性指标分数和/或可靠性寿命;其中,所述RTR单元在所述产品通过可靠性检测后,将所述产品测试报告传送至所述RI单元。

在一个实施例中,所述RTR单元具有:质检模式、评估模式、监控模式和/或工艺调节模式;其中,在所述质检模式下,所述RTR单元获得所有测试类型的产品测试报告,并且将所有产品测试报告传送到文件管理系统和/或RI单元;在所述评估模式下,所述RTR单元根据测试需要获得至少一种测试类型的产品测试报告,并且将所述产品测试报告传送至所述RI单元;在所述监控模式下,所述RTR单元定期地获得至少一种测试类型的产品测试报告,并且将所述产品测试报告传送至所述RI单元;和/或,在所述工艺调节模式下,所述RTR单元获得在工艺条件改变的情况下至少一种测试类型的产品测试报告。

在一个实施例中,所述RTR单元还用于在对所述待测试产品选定优先级后,将所述优先级传送到所述可靠性实验室管理单元;所述可靠性实验室管理单元还用于根据所述优先级安排测试设备的测试时间,并将所述测试时间返回给所述RTR单元。

在一个实施例中,所述可靠性实验室管理单元还用于在所述测试设备出现故障时进行报警并锁定,并且在接收到对所述测试设备进行维修的维修报告后对所述测试设备解除锁定。

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