[发明专利]真空泵及被使用于该真空泵的静翼部

权利要求书

1.一种真空泵，前述真空泵具备涡轮分子泵部，前述涡轮分子泵部借助被设置于旋转体的动翼部和被固定于静止体的静翼部将气体移送，其特征在于，

前述静翼部具有以既定角度倾斜的固定翼和将该固定翼支承的边缘部，

前述固定翼的侧端部具备从前述固定翼的倾斜根部向其倾斜末端形成的支承侧壁部，并且，前述固定翼的侧端部经由该支承侧壁部被支承于前述边缘部，

作为不由于将前述支承侧壁部成形的拉深加工而在前述支承侧壁部处产生裂缝的条件，在前述拉深加工前，前述静翼部的将通过前述拉深加工成为前述支承侧壁部的部分被设定成满足下述式（A），

S×L×t1≥V…式（A）

S：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的半径方向的宽度，

L：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的圆周方向的长度，

t1：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的板厚，

S×L×t1：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的体积，

V：防止由拉深加工引起的裂缝所必需的支承侧壁部的体积。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述静翼部在前述固定翼的前述侧端部和前述边缘部之间具有缺口部，前述缺口部是被从前述固定翼的前述倾斜末端向前述倾斜根部切入的形状。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述拉深加工前，前述缺口部的前述旋转体的半径方向的宽度设定成与前述边缘部的板厚相等的尺寸或比前述边缘部的板厚大的尺寸。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述边缘部的宽度设定成与其边缘部的板厚相等的尺寸或比其边缘部的板厚大的尺寸。

5.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述缺口部的角部呈圆弧形状。

6.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

在前述缺口部的吸气口侧设置有遮蔽部作为气体分子逆流防止构造。

7.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

在前述静翼部处设置有前述遮蔽部。

8.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述拉深加工前，在前述静翼部的将成为前述固定翼的前述倾斜末端的部位和前述边缘部之间形成固定翼长度方向的切口的情况下，前述切口的宽度设定成与前述边缘部的板厚相等的尺寸或比前述边缘部的板厚大的尺寸。

9.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述支承侧壁部相对于前述边缘部的倾斜角度被设定成不满90度。

10.如权利要求9所述的真空泵，其特征在于，

前述倾斜角度由下述式（D）确定，

c≤R×b…式（B）

R＝（b＋Δr）／b…式（C）

θ＝cos^－1（b／c）…式（D）

c：拉深加工后的支承侧壁部的长度，

R：材料的极限伸长率，

b：将拉深加工后的支承侧壁部在包括边缘部的表面的面上投影的长度，

Δr：构成支承侧壁部的材料的极限伸长量，

θ：拉深加工后的支承侧壁部相对于边缘部的倾斜角度。

11.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述边缘部的与前述固定翼的前述倾斜根部连结的部分与前述固定翼同样地倾斜。

12.一种静翼部，其特征在于，

构成如权利要求1至11中任一项所述的真空泵。