[发明专利]真空泵及被使用于该真空泵的静翼部

说明书

提供一种真空泵及被用于其中的静翼部，具备防止由拉深加工引起的裂缝的高刚性的固定翼作为构成真空泵的固定翼，由此适合于实现作为真空泵的耐久性的提高。作为不由于将前述支承侧壁部成形的拉深加工而在前述支承侧壁部处产生裂缝的条件，在前述拉深加工前，前述静翼部的将通过前述拉深加工成为前述支承侧壁部的部分被设定成满足下述式A，S×L×t1≥V…式A；S：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的径向的宽度；L：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的周向的长度；t1：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的板厚；S×L×t1：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的体积；V：防止由拉深加工引起的裂缝所必需的支承侧壁部的体积。

技术领域

本发明涉及被作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理腔、其他腔室的气体排出机构等而利用的真空泵及被使用于该真空泵的静翼部，特别地，作为构成该真空泵的固定翼，具备防止由拉深加工引起的裂缝的高刚性的固定翼，由此实现作为真空泵的耐久性、可靠性及排气性能的提高。

背景技术

这种以往的真空泵例如被专利文献1公开。该文献1的真空泵具备由旋转的动翼部（6）和固定的静翼部（70）将气体移送的涡轮分子部。

并且，专利文献1的真空泵的前述静翼部（70）如该文献1的图3、图4等所公开那样，具有以既定角度倾斜的固定翼（71）、支承该固定翼（71）的边缘部（75、76）。该固定翼（71）被通过拉深加工形成，此外，为了提高固定翼（71）的刚性，在该固定翼（71）的侧端部，通过拉深加工设置有支承侧壁部（75S、76S）（参照该文献1的0031段及该文献1的图3）。

在专利文献1中，作为为了使在前述那样的固定翼侧端部的支承侧壁部（75S）处不产生由拉深加工引起的裂缝的技术，公开了如下方案，在固定翼（71）的侧端部，设置从固定翼（71）的倾斜末端向其倾斜根部切入的形状的缺口（75K）（参照该文献1的0031段和该文献1的图3）。

但是，关于不使前述那样的裂缝产生的条件，在专利文献1中没有任何公开和启示。在仅设置那样的缺口（75K）的方案中，不能可靠且切实地防止由于拉深加工而在支承侧壁部（75S）处产生的裂缝，继续真空泵的运转，由此产生那样的裂缝逐渐扩大等，作为真空泵的耐久性、可靠性方面的问题。此外，若稍许产生那样的裂缝，则提高固定翼（71）的刚性的支承侧壁部（75S）本来的功能下降，固定翼（71）的倾斜角度容易变化。固定翼（71）设定成以最适合气体分子的排气的角度倾斜，所以有若其倾斜角度稍许变化，则导致排气性能的下降的问题。

另外，以上说明中的括号内的附图标记是专利文献1中被使用的附图标记。

专利文献1：日本特开2014－159805号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题而作出的，其目的在于提供一种真空泵及被使用于该真空泵的静翼部，前述真空泵具备防止由拉深加工引起的裂缝的高刚性的固定翼来作为构成真空泵的固定翼，由此适合于实现耐久性、可靠性及排气性能的提高。

为了实现前述目的，本发明是一种真空泵，前述真空泵具备涡轮分子泵部，前述涡轮分子泵部借助被设置于旋转体的动翼部和被固定于静止体的静翼部将气体移送，其特征在于，前述静翼部具有以既定角度倾斜的固定翼和将该固定翼支承的边缘部，前述固定翼的侧端部具备从前述固定翼的倾斜根部向其倾斜末端形成的支持侧壁部，并且，前述固定翼的侧端部经由该支承侧壁部被支承于前述边缘部，作为不由于将前述支承侧壁部成形的拉深加工而在前述支承侧壁部处产生裂缝的条件，在前述拉深加工前，前述静翼部的将通过前述拉深加工成为前述支承侧壁部的部分被设定成满足下述式（A），

式

S×L×t1≥V…式（A）

S：将通过拉深加工成为支承侧壁部的部分的前述旋转体的半径方向的宽度，