[发明专利]平面研磨装置

权利要求书

1.一种平面研磨装置，其特征在于，具有：

机体；

定盘，其用于对工件进行研磨，并以旋转自如的方式支承于机体；

传感器单元，其用于在研磨工件时对与工件或定盘有关的数据进行测定，并被设置为与定盘一体地旋转；

测定单元，其设置于机体，并通过线缆而与传感器单元连接；和

旋转接头，其夹设于机体侧的静止部与定盘侧的旋转部之间，并具有与静止部侧连结的静止侧接头部和与旋转部侧连结的旋转侧接头部，

所述线缆具有：

一次侧线缆，其将旋转接头的静止侧接头部与测定单元连接；以及

二次侧线缆，其将旋转接头的旋转侧接头部与传感器单元连接，

在所述旋转接头的外侧，设置有以在相互间保持空间部的状态相对于所述定盘同轴地固定的第1线缆罩和第2线缆罩，

在所述空间部内收纳有所述二次侧线缆。

2.根据权利要求1所述的平面研磨装置，其特征在于，

第1线缆罩和第2线缆罩形成为有底筒状，在小径的第1线缆罩的外侧，大径的第2线缆罩以与第1线缆罩相互间保持空间部的状态配设为同心状。

3.根据权利要求1或2所述的平面研磨装置，其特征在于，

第1线缆罩和第2线缆罩具有透视性。

4.根据权利要求1或2所述的平面研磨装置，其特征在于，

平面研磨装置是双面研磨装置，定盘为上定盘及下定盘，

上定盘以升降自如且旋转自如的方式支承于机体，

传感器单元配设为与上定盘一体地旋转、且构成为对工件研磨时的数据进行测定，

线缆包括光缆以及电缆中的至少一方。