[发明专利]准分子激光退火工序用脱氧装置

权利要求书

1.一种准分子激光退火工序用脱氧装置，

包括：

壳体；

脱氧模块，与上述壳体的一侧相结合，用于向基板上部侧供给非活性气体，

恒定地维持上述基板上部侧的氧浓度，

上述准分子激光退火工序用脱氧装置的特征在于，

上述脱氧模块包括：

盖板，形成有非活性气体注入口；

第一板，以面接触的方式与上述盖板相结合；

第二板，以面接触的方式与上述第一板相结合，包括扩散路径，上述扩散路径与上述非活性气体注入口相连通，用于使注入的上述非活性气体扩散；

多个螺杆，包括头部和本体部，头部与上述盖板相结合，在本体部的外周面设有螺杆管道，本体部贯通上述第一板和第二板，使在上述扩散路径扩散的上述非活性气体沿着上述螺杆管道扩散；以及

第三板，以面接触的方式与上述第二板相结合，形成有用于混合沿着上述螺杆管道扩散的上述非活性气体的第一空间部，以向上述基板上部侧供给上述非活性气体。

2.根据权利要求1所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，上述螺杆中的与上述第一板外接的部分的直径更小，从而在上述螺杆与上述第一板之间形成有第二空间部。

3.根据权利要求1所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，上述螺杆沿着上述第一板的长度方向配置2列。

4.根据权利要求1所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，上述壳体的上侧被用于使激光束透过的窗所密封，以向内部提供用于使上述非活性气体混入的第三空间部。

5.根据权利要求4所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，在上述壳体中，在上述第三空间部的侧壁沿着长度方向形成有使上述非活性气体从上述第一空间部混入的喷射缝。

6.根据权利要求5所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，上述喷射缝向下以开口方式设置，以使上述非活性气体能够向上述第三空间部的底面的曲线部喷射。

7.根据权利要求4所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，在上述壳体中，在上述第三空间部的底面沿着长度方向形成有向上述基板的上部侧排出上述非活性气体的排出缝。

8.根据权利要求1所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，上述脱氧模块被制作成单一单元，从而以单个或多个组合实现。

9.根据权利要求8所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，在上述单一单元中，在上述第一板的中心部形成有至少一个上述非活性气体注入口。

10.根据权利要求7所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，上述脱氧模块以对称的方式形成于上述第三空间部的侧壁两侧。

11.根据权利要求1所述的准分子激光退火工序用脱氧装置，其特征在于，在上述脱氧模块中，上述盖板、第一板、第二板及第三板以螺栓结合的方式固定于上述壳体的一侧面。