[发明专利]柔性器件的制备方法有效
申请号: | 201710082315.9 | 申请日: | 2017-02-15 |
公开(公告)号: | CN106876247B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 陈超 | 申请(专利权)人: | 纳晶科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/683 |
代理公司: | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 赵囡囡;吴贵明 |
地址: | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 器件 制备 方法 | ||
1.一种柔性器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1,利用固液转换材料形成承载基板;
S2,在所述承载基板上设置柔性基板;
S3,对所述承载基板进行固液转换处理,将所述承载基板与所述柔性基板分离,
其中,所述固液转换材料为第一固液转换材料,所述第一固液转换材料为正磁流变液,
所述第一固液转换材料包括固体粒子和载液,所述固体粒子为硅钢微粒,所述载液包括凡士林油、润滑油、煤油、烷烃类化合物、甘油、乙二醇、胶体状磁流体与石墨颗粒的未聚合的环氧树脂基体中的任一种或多种,
所述第一固液转换材料还包括添加剂,所述添加剂选自表面活性剂、水、酸、碱与盐类物体中的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述固液转换材料为所述第一固液转换材料,所述步骤S1包括以下过程:
将液态的所述固液转换材料设置于容器中;
在外加磁场的作用下使所述固液转换材料由液态变为固态,或者,在增强磁场的作用下使所述固液转换材料由液态变为固态,以将固态的所述固液转换材料作为所述承载基板。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,
所述外加磁场或所述增强磁场的场强具有使所述正磁流变液由液态向固态转换的第二临界值,所述第二临界值为0~3.5×105A/mm。
4.根据权利要求2或3所述的制备方法,其特征在于,在所述步骤S3中,去除所述外加磁场或所述增强磁场对所述承载基板的作用,或者,减弱所述磁场对所述承载基板的作用,以使所述承载基板形成液态的所述第一固液转换材料与所述柔性基板分离。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一固液转换材料的剪切强度为2~200kPa。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述柔性器件为柔性显示器件,在所述步骤S3之前,所述制备方法还包括以下步骤:
在所述柔性基板上设置薄膜晶体管;
在所述薄膜晶体管上设置电致发光元件;
在所述电致发光元件远离所述薄膜晶体管的表面上设置封装构件。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述步骤S3之后,所述制备方法还包括步骤:
S4,去除所述柔性基板表面残留的液态的所述固液转换材料,所述固液转换材料为所述第一固液转换材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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