[发明专利]柔性器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710082315.9 申请日: 2017-02-15
公开(公告)号: CN106876247B 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 陈超 申请(专利权)人: 纳晶科技股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/683
代理公司: 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 赵囡囡;吴贵明
地址: 310052 浙江省杭州市滨*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 柔性 器件 制备 方法
【说明书】:

发明提供了一种柔性器件的制备方法。该制备方法包括以下步骤:利用固液转换材料形成承载基板;在承载基板上设置柔性基板;对承载基板进行固液转换处理,将承载基板与柔性基板分离,其中,固液转换材料为第一固液转换材料或第二固液转换材料,第一固液转换材料为正电流变液或正磁流变液,第二固液转换材料为负电流变液或负磁流变液。由于该制备方法中利用固态的固液转换材料形成承载基板,然后在承载基板上设置柔性基板,最后对承载基板进行固液转换处理,使固液转换材料由固态变为液态,将承载基板与柔性基板分离,从而实现了承载基板与柔性基板之间简单的分离,且上述分离过程不会对柔性基板及其表面器件造成影响,保证了柔性器件的性能。

技术领域

本发明涉及材料技术领域,具体而言,涉及一种柔性器件的制备方法。

背景技术

现今,随着多媒体的发展,显示装置具有越来越大的重要性。其中,各种平板显示器,如LCD(液晶显示器)、PDP(等离子显示面板)、FED(场发射显示器)、OLED(有机发光二极管显示装置)、EPD(电泳显示器)等正在投入实际使用。

为了减少显示装置的厚度和重量,目前,已经开发出了柔性显示装置,其由柔性材料(如塑料等)而不是普通的非柔性玻璃基板制成,使得显示装置即使如纸一样弯曲时,也可以保持显示性能。但是,上述柔性显示装置等柔性器件中的柔性基板很容易弯曲,以至于在制造过程中柔性基板应当被支撑在如承载基板的硬基板上,才能够在柔性基板上进行元器件的制备,且在元器件制备还需要将承载基板从柔性基板的表面分离,分离工艺通常为刻蚀工艺,上述分离工艺不仅比较复杂,而且在分离时还可能会导致柔性基板上的元器件被损坏,从而导致柔性器件的性能降低。

为了避免刻蚀工艺对柔性基板的影响,现有技术中提供了一种柔性器件的制备方法,其中,通过在承载基板和柔性基板之间设置牺牲层,通过对牺牲层进行刻蚀,以实现承载基板和柔性基板的分离,然而上述制备方法由于还需要设置牺牲层,从而增加了制备工艺的复杂度;现有技术中还提供了一种柔性器件的制备方法,其中,通过在承载基板和柔性基板之间设置热发生器,从而通过加热以使承载基板和柔性基板的分离,上述方法由于需要设置热发生器,从而同样导致制备工艺较为复杂。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种柔性器件的制备方法,以解决现有技术中承载基板与柔性基板的分离工艺复杂的问题。

为了实现上述目的,根据本发明的一个方面,提供了一种柔性器件的制备方法,包括以下步骤:S1,利用固液转换材料形成承载基板;S2,在承载基板上设置柔性基板;S3,对承载基板进行固液转换处理,将承载基板与柔性基板分离,其中,固液转换材料为第一固液转换材料或第二固液转换材料,第一固液转换材料为正电流变液或正磁流变液,第二固液转换材料为负电流变液或负磁流变液。

进一步地,固液转换材料为第一固液转换材料,步骤S1包括以下过程:将液态的固液转换材料设置于容器中;在外加电场或磁场的作用下使固液转换材料由液态变为固态,或者,在增强电场或磁场的作用下使固液转换材料由液态变为固态,以将固态的固液转换材料作为承载基板。

进一步地,电场的场强具有使电流变液由液态向固态转换的第一临界值,第一临界值为0~10KV/mm;磁场的场强具有使磁流变液由液态向固态转换的第二临界值,第二临界值为0~3.5×105A/mm。

进一步地,在步骤S3中,去除电场或磁场对承载基板的作用,或者,减弱电场或磁场对承载基板的作用,以使承载基板形成液态的固液转换材料并与柔性基板分离。

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