[发明专利]用于显影设备的排气箱及黄光制程显影设备

权利要求书

1.一种用于显影设备的排气箱，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的其中一侧表面上设有均匀分布的排气孔(2)，在箱体(1)上设有与箱体(1)内腔连通的连接管(3)。

2.根据权利要求1所述的用于显影设备的排气箱，其特征在于：所述排气孔(2)呈蜂窝状排布。

3.根据权利要求2所述的用于显影设备的排气箱，其特征在于：所述排气孔(2)的孔径为10～20mm。

4.根据权利要求1所述的用于显影设备的排气箱，其特征在于：所述箱体(1)为长方体。

5.一种黄光制程显影设备，包括多个相互拼接而成的显影腔室(5)，在显影腔室(5)中设有用于将待显影基板依次输送至每个显影腔室(5)中的传送机构(6)，在每个显影腔室(5)的同一位置上分别设有与显影腔室(5)连通的排气管(7)，所述排气管(7)上设有风量调节阀(4)，其特征在于：还包括如权利要求(1)所述的用于显影设备的排气箱，每个显影腔室(5)内分别设有一个与排气管(7)连接的排气箱，所述排气孔(2)与显影腔室(5)的顶部相对，连接管(3)与排气管(7)相连。

6.根据权利要求5所述的黄光制程显影设备，其特征在于：每个排气管(7)的排气量按照显影腔室(5)的排列顺序从头到尾排气量依次增大。

7.根据权利要求5所述的黄光制程显影设备，其特征在于：所述排气孔(2)呈蜂窝状排布。

8.根据权利要求5所述的黄光制程显影设备，其特征在于：所述排气孔(2)的孔径为10～20mm。

9.根据权利要求5所述的黄光制程显影设备，其特征在于：所述箱体(1)为长方体。

10.根据权利要求9所述的黄光制成显影设备，其特征在于：所述箱体(1)的长度为300～800mm，宽度为100～200mm，高度为100～200mm。