[发明专利]宽波段、大量程激光功率计检定装置

权利要求书

1.宽波段、大量程激光功率计的检定装置，包括宽波段、大量程、高精度、高稳定的激光功率计检定校准，包括激光辐射源、可翻转反射镜、光阑、激光功率分束片、监测探测器、激光衰减器组、激光功稳仪、宽波段标准激光功率计、待检定激光功率计和激光光路，

其特征在于：

激光辐射源（0）包括633nm激光器（1）、532nm激光器（2）和1064nm激光器（3），在633nm激光器光路上装有第一可翻转反射镜（1.1），在532nm激光器光路上装有第二可翻转反射镜（2.1），在1064nm激光器光路上装有第三可翻转反射镜（3.1），可翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑（4）和激光分束片（5），激光分束片反射的激光照向监测探测器（6）上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组（7），激光衰减器组包括设置在前侧的可调占空比式激光衰减器（7.1）和设置在后侧的中性激光衰减片（7.2），经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪（8）后又经过第二可变光阑（9），直至照射在宽波段标准激光功率计（10）上，然后采用待检定激光功率计（11）替换宽波段标准激光功率计，激光直接照射到待检定激光功率计上；

通过第一可翻转反射镜、第二可翻转反射镜和第三可翻转反射镜的打开和放下，调整不同波长的激光沿同一位置穿过第一可变光阑，实现不同波长激光辐射源的切换，实现宽波段激光功率计的校准；

光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片后，一部分沿光路反射到监测探测器，另一部分沿光路透射到激光衰减器组；

其中，633nm激光器经光路使第三可翻转反射镜放下，经光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；

其中，532nm激光器经光路入射到第二可翻转反射镜，使第二可翻转反射镜打开，经第二可翻转反射镜反射后，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；

其中，1064nm激光器经光路入射到第一可翻转反射镜，使第一可翻转反射镜打开，第二可翻转反射镜放下，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；

透射到激光衰减器组的激光辐射沿光路入射到激光功稳仪；

透过激光功稳仪的激光辐射沿光路穿过第二可变光阑；

穿过第二可变光阑的激光辐射入射到宽波段标准激光功率计或待检定激光功率计；

激光辐射源至少包括532nm、633nm和1064nm三个波长点，光谱上包含了从可见绿光、可见红光到不可见近红外激光辐射三个波长，通过更多的激光器和可翻转反射镜组合可实现更多波长的激光功率计检定。

2.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计的检定装置，其特征在于：

所述监测探测器包括激光功率计探头和激光功率计显示仪表，激光分束片与激光功率计探头和激光功率计显示仪表组成激光功率分束监测与修正装置，所述激光分束片具有平行或楔形平面结构，前表面没有镀膜，后表面镀有高损伤阈值的激光增透膜，用于将激光分束，一束进入激光功率计探头，一束进入标准激光功率计和待检定激光功率计；所述激光功率计探头，为热电型，传感器为热电型或光电型，传感器为半导体材料，用于接收激光光束；所述激光功率计显示仪表与激光功率计探头连接，用于将激光功率计探头输出光信号转换为电信号，并显示功率值。

3.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计的检定装置，其特征在于：

所述激光衰减器至少包括机械斩波式可调衰减器和中性激光衰减片；所述机械斩波式可调衰减器只有两片金属扇叶，且扇叶较厚，抗激光损伤能力较强，用于瓦级功率激光检定校准；所述中性激光衰减片由一组中性灰玻璃组成，实现毫瓦级宽波段激光功率的衰减；所述机械斩波式可调衰减器和中性激光衰减片可单独使用，也可组合使用，扩展激光功率计检定量程，实现大量程激光功率计检定。

4.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计的检定装置，其特征在于：

所述第一可变光阑和第二可变光阑由多个叶片组成，每个叶片具有类似于圆的渐开线的形状结构，调节旋钮改变叶片的角度，用于光束定位，保证不同波长的激光沿同一位置入射到宽波段标准激光功率计和检定待检定激光功率计。