[发明专利]宽波段、大量程激光功率计检定装置

说明书

本发明提出的是宽波段、大量程激光功率计检定装置。激光辐射源包括633nm激光器、532nm激光器和1064nm激光器，在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜，在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜，在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜，翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑和激光分束片，激光分束片反射的激光照向监测探测器上，经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪后又经过第二可变光阑，直至照射在宽波段标准激光功率计传递给宽波段标准待检定激光功率计上。本发明能够实现宽波段、大量程激光功率计的计量检定。适宜作为激光功率检定的装置使用。

技术领域

本发明属于光学计量测试技术领域，涉及宽波段、大量程激光功率计检定装置。

背景技术

激光技术作为一种前沿高科技在军事国防中具有重要应用，在精确测距、精密制导、保密通信等领域具有重要优势。激光辐射最基本的参数是辐射功率，激光功率计量技术是保障激光各种应用的关键，激光技术的这些应用都离不开激光功率的精密测量，因此激光功率计量受到国内外计量部门高度重视，德国物理技术研究院（PTB）、美国国家标准与技术研究院（NIST）、英国国家物理实验室（NPL）、中国计量科学研究院（NIM）等国内外计量技术机构都建立了激光功率计检定校准装置。

目前，国内外计量技术机构的激光功率计检定校准装置在不同的激光波段，不同的功率范围分别建立若干独立的激光功率计检定装置。每套独立的激光功率计检定装置均具有有限的检定激光波段范围和检定激光功率范围。实现宽波段、大量程激光功率计检定校准需要多个系统的组合，组合的系统设备复杂、体积庞大、对实验室面积提出苛刻要求。另外，同一台激光功率计在不同的检定系统检定校准，引入了系统误差和面均匀性校准误差等检定不确定度分量，难以实现战术要求的高精度激光功率计检定校准。发明一种宽波段、大量程激光功率计检定装置成为高精度激光功率计检定校准迫切需要解决的问题。

发明内容

为了克服现有技术存在的缺点，本发明提出了宽波段、大量程激光功率计检定装置。该装置激光光源经过可变光阑和激光分束片及激光衰减器对待检激光功率计进行检定，解决激光器功率检测的技术问题。

本发明解决技术问题所采用的方案是：

激光辐射源包括633nm激光器、532nm激光器和1064nm激光器，在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜，在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜，在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜，翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑和激光分束片，激光分束片反射的激光照向监测探测器上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组，在激光衰减器组前侧装有可调占空比式激光衰减器，后侧装有中性激光衰减片，经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪后又经过第二可变光阑，直至照射在宽波段标准激光功率计上，宽波段标准激光功率计光路直接照射到待检定激光功率计上。

633nm激光器经光路使第三可翻转反射镜放下，经光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；

532nm激光器经光路入射到第二可翻转反射镜，使第二可翻转反射镜打开，经第二可翻转反射镜反射后，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；

1064nm激光器经光路入射到第一可翻转反射镜，使第一可翻转反射镜打开，第二可翻转反射镜放下，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；

通过第一可翻转反射镜、第二可翻转反射镜和第三可翻转反射镜的打开和放下，调整不同波长的激光沿同一位置穿过第一光阑，实现不同波长激光辐射源的切换，实现宽波段激光功率计的校准；

光路穿过第一光阑，入射到激光分束片后，一部分沿光路反射到监测探测器，另一部分沿光路透射到激光衰减器组；