[发明专利]用于侦测错误事件的方法

权利要求书

1.一种侦测方法，其特征在于，包含：

通过处理器根据多个步骤对齐第一数据与第二数据，其中所述第一数据与所述第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；

通过所述处理器根据所述第一数据决定第一虚拟区域；

通过所述处理器根据所述第二数据决定第二虚拟区域；以及

通过显示器显示所述第一虚拟区域与所述第二虚拟区域的比较结果，以分辨是否有错误事件存在于所述设备。

2.如权利要求1所述的侦测方法，其特征在于，所述第一数据与所述第二数据在所述多个步骤中的每一步中被收集，且对齐所述第一数据与所述第二数据的操作包含：

在所述多个步骤中的每一步中将所述第一数据与所述第二数据对齐。

3.如权利要求1所述的侦测方法，其特征在于，决定所述第一虚拟区域的操作包含：

根据所述第一数据决定第一上限值以及第一下限值；以及

根据所述第一上限值以及所述第一下限值产生所述第一虚拟区域。

4.如权利要求3所述的侦测方法，其特征在于，所述第一上限值关联于所述第一数据的第一预定倍数，且所述第一下限值关联于所述第一数据的第二预定倍数。

5.如权利要求3所述的侦测方法，其特征在于，决定所述第二虚拟区域的操作包含：

根据所述第二数据决定第二上限值以及第二下限值；以及

根据所述第二上限值以及所述第二下限值产生所述第二虚拟区域。

6.如权利要求5所述的侦测方法，其特征在于，所述第二上限值关联于所述第二数据的第一预定倍数，且所述第二下限值关联于所述第二数据的第二预定倍数。

7.如权利要求5所述的侦测方法，其特征在于，显示所述第一虚拟区域与所述第二虚拟区域的所述比较结果的操作包含：

通过所述处理器将所述第一上限值以及所述第一下限值对所述第二上限值以及所述第二下限值进行比较；以及

通过所述显示器经由多个指示器显示所述比较结果，其中所述多个指示器由多个不同颜色层显示。

8.如权利要求7所述的侦测方法，其特征在于，在所述第二上限值小于所述第一上限值，且所述第二下限值高于所述第一下限值的条件下，所述多个指示器中的第一指示器被显示以代表所述设备未出现偏移，其中所述错误事件包含所述设备出现偏移。

9.如权利要求7所述的侦测方法，其特征在于，在所述第二上限值处于所述第一上限值与所述第一下限值之间，所述第二下限值低于所述第一下限值，且所述第一虚拟区域与所述第二虚拟区域之间的交集区域大于预定区域的条件下，所述多个指示器中的第二指示器被显示以代表所述设备出现偏移，其中所述错误事件包含所述设备出现偏移。

10.如权利要求7所述的侦测方法，其特征在于，在所述第二上限值以及所述第二下限值两者皆低于所述第一下限值的条件下，所述多个指示器中的第三指示器被显示以代表所述设备出现偏移，其中所述错误事件包含所述设备出现偏移。

11.一种电脑实现方法，用于侦测错误事件，其特征在于，所述电脑实现方法包含：

通过处理器在多个步骤上对齐第一数据与第二数据，其中所述第一数据与所述第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；

通过所述处理器转换所述第一数据与所述第二数据至关联于所述第一数据的第一虚拟区域以及关联于所述第二数据的第二虚拟区域；

比较所述第一虚拟区域以及所述第二虚拟区域；以及

通过输入/输出模块经由多个指示器显示所述第一虚拟区域与所述第二虚拟区域的比较结果，以分辨所述错误事件是否存在于所述设备。

12.如权利要求11所述的电脑实现方法，其特征在于，所述第一数据与所述第二数据在所述多个步骤中的每一步中被收集。

13.如权利要求11所述的电脑实现方法，其特征在于，转换所述第一数据与所述第二数据的操作包含：

根据所述第一数据决定第一上限值以及第一下限值；

根据所述第一上限值以及所述第一下限值产生所述第一虚拟区域；

根据所述第二数据决定第二上限值以及第二下限值；以及

根据所述第二上限值以及所述第二下限值产生所述第二虚拟区域。