[发明专利]用于侦测错误事件的方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种制造工艺控制系统，且特别是有关于用于侦测用于制造半导体装置的设备的偏移状况的系统与方法。

背景技术

在半导体制造工艺中，半导体装置由有顺序的多个半导体层形成。半导体制造工艺由各种不同地处理以及量测机器执行。这些制造工艺机器执行由用于制造半导体装置的配方所定义的各种处理功能。

传统上，在不同机台之间的错误侦测与分类(fault detection and classification,FDC)是通过使用者的知识来分辨。例如，使用者可通过他/她的经验与常识而非标准规则来辨识在FDC图表上出现的不正常状况。再者，有效率地同时辨识大量的机台内是否出现不正常的状况是很困难的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于侦测错误事件的方法，该方法可改善同时侦测大量设备错误事件的效率。

本发明的一方面为提供一种侦测方法，其包含下列操作。通过处理器根据多个步骤对齐第一数据与第二数据，其中第一数据与第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；通过处理器根据第一数据决定第一虚拟区域；通过处理器根据第二数据决定第二虚拟区域；以及通过显示器显示第一虚拟区域与第二虚拟区域的比较结果，以分辨是否有错误事件存在于设备。

在一些实施例中，第一数据与第二数据在多个步骤中的每一步中被收集，且对齐第一数据与第二数据的操作包含：在多个步骤中的每一步中将第一数据与第二数据对齐。

在一些实施例中，决定第一虚拟区域的操作包含：根据第一数据决定第一上限值以及第一下限值；以及根据第一上限值以及第一下限值产生第一虚拟区域。

在一些实施例中，第一上限值为第一数据的最大值的预定倍数，且第一下限值为第一数据的最小值的预定倍数。

在一些实施例中，决定第二虚拟区域的操作包含：根据第二数据决定第二上限值以及第二下限值；以及根据第二上限值以及第二下限值产生第二虚拟区域。

在一些实施例中，第二上限值为第二数据的最大值的预定倍数，且第二下限值为第二数据的最小值的预定倍数。

在一些实施例中，显示第一虚拟区域与第二虚拟区域的比较结果的操作包含：通过处理器将第一上限值以及第一下限值对第二上限值以及第二下限值进行比较；以及通过显示器经由多个指示器显示比较结果，其中多个指示器由多个不同颜色层显示。

在一些实施例中，在第二上限值小于第一上限值，且第二下限值高于第一下限值的条件下，多个指示器中的第一指示器被显示以代表设备不存在偏移。

在一些实施例中，在第二上限值处于第一上限值与第一下限值之间，第二下限值低在一下限值，且第一虚拟区域与第二虚拟区域之间的交集区域大于预定区域的条件下，多个指示器中的第二指示器被显示以代表设备出现偏移。

在一些实施例中，在第二上限值以及第二下限值两者皆低于第一下限值的条件下，多个指示器中的第三指示器被显示以代表设备出现偏移。

本发明的另一方面为提供一种电脑实现方法，其用于侦测错误事件，电脑实现方法包含：通过处理器在多个步骤上对齐第一数据与第二数据，其中第一数据与第二数据关联于用于制造多个半导体装置的设备；通过处理器转换第一数据与第二数据至关联于第一数据的第一虚拟区域以及关联于第二数据的第二虚拟区域；比较第一虚拟区域以及第二虚拟区域；以及通过输入/输出模块经由多个指示器显示第一虚拟区域与第二虚拟区域的比较结果，以分辨错误事件是否存在于设备。

在一些实施例中，第一数据与第二数据在多个步骤中的每一步中被收集。

在一些实施例中，转换第一数据与第二数据的操作包含：根据第一数据决定第一上限值以及第一下限值；根据第一上限值以及第一下限值产生第一虚拟区域；根据第二数据决定第二上限值以及第二下限值；以及根据第二上限值以及第二下限值产生第二虚拟区域。

在一些实施例中，第一上限值关联于第一数据第一预定倍数，且第一下限值关联于第一数据的第二预定倍数。

在一些实施例中，第二上限值关联于第二数据的第一预定倍数，且第二下限值关联于第二数据的第二预定倍数。

在一些实施例中，比较第一虚拟区域与第二虚拟区域的操作包含：通过处理器将第一上限值以及第一下限值对第二上限值以及第二下限值进行比较。

在一些实施例中，显示第一虚拟区域与第二虚拟区域的比较结果的操作包含：在第二上限值小于第一上限值，且第二下限值高于第一下限值的条件下，显示多个指示器中的第一指示器以代表设备不存在偏移，其中错误事件包含设备出现偏移。