[发明专利]坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备及蒸镀方法

权利要求书

1.一种坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部形成有开口，其特征在于，所述坩埚还包括密封盖和弹性件，所述密封盖与所述坩埚本体形成可拆卸的密封连接，以使所述密封盖能够打开或密封所述开口，所述弹性件设置在所述密封盖和所述坩埚本体之间，且所述弹性件在所述密封盖密封所述开口时处于压缩状态。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述弹性件包括扭力弹簧，所述扭力弹簧的一端设置在所述坩埚本体上，所述扭力弹簧的另一端设置在所述密封盖边缘，所述密封盖边缘的未设置所述扭力弹簧的部分通过连接件与所述坩埚本体可拆卸地连接。

3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体包括底壁和侧壁，所述坩埚本体的侧壁包括直立部和水平延伸部，所述水平延伸部的一端与所述直立部的顶端相连，所述水平延伸部的另一端朝向所述坩埚本体外部延伸，

所述扭力弹簧的一端设置在所述水平延伸部上，所述密封盖边缘的未设置扭力弹簧的部分通过所述连接件与所述水平延伸部可拆卸地连接。

4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述连接件包括卡扣，所述卡扣的一端与所述密封盖铰接，所述卡扣的另一端设置有用于与所述水平延伸部卡接的卡勾。

5.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述水平延伸部上设置有第一密封垫，该第一密封垫为环绕所述坩埚本体的轴线的闭合环形结构；和/或，

所述密封盖包括盖体和设置在盖体底面上的第二密封垫，该第二密封垫为环绕所述密封盖的轴线的闭合环形结构。

6.一种蒸镀准备装置，其特征在于，包括手套箱和权利要求1至5中任意一项所述的坩埚，所述手套箱包括箱体和手套，所述箱体上设置有入口、用于打开和关闭该入口的箱门、手套接口，所述手套与所述手套接口密封连接，所述坩埚能够通过所述入口进入所述箱体内；所述箱体上设置有气压调节结构，所述气压调节结构用于调节所述箱体内的气压。

7.根据权利要求6所述的蒸镀准备装置，其特征在于，所述箱体上还设置有进气口，该进气口与惰性气体源相连通。

8.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室与抽真空装置连通，其特征在于，所述蒸镀装置还包括权利要求6或7所述的蒸镀准备装置。

9.一种利用权利要求8所述的蒸镀设备的蒸镀方法，其特征在于，包括：

将所述坩埚放入所述手套箱的箱体内；

通过所述手套箱的手套将待蒸镀材料放入所述箱体中的坩埚本体内；

调节所述箱体内的气压，以使其小于外界大气压；

将所述密封盖与所述坩埚本体密封连接；

将所述坩埚从所述手套箱移至所述蒸镀腔室内，并在所述坩埚移出所述手套箱后、进入所述蒸镀腔室前解除所述密封盖与所述坩埚本体之间的密封连接；

对所述蒸镀腔室进行抽真空。

10.根据权利要求9所述的蒸镀方法，其特征在于，将所述坩埚和待蒸镀材料放置在所述手套箱的箱体内的步骤之前还包括：

向所述手套箱的箱体内充入惰性气体。