[发明专利]坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备及蒸镀方法

说明书

本发明提供一种坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部形成有开口，所述坩埚还包括密封盖和弹性件，所述密封盖与所述坩埚本体形成可拆卸的密封连接，以使所述密封盖能够打开或密封所述开口，所述弹性件设置在所述密封盖和所述坩埚本体之间，且所述弹性件在所述密封盖密封所述开口时处于压缩状态。相应地，本发明还提供一种蒸镀准备装置、蒸镀设备和蒸镀方法，本发明能够减少待蒸镀材料的变质，减少人体与待蒸镀材料的直接接触。

技术领域

本发明涉及显示装置的生产领域，具体涉及一种坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备及蒸镀方法。

背景技术

蒸镀法是有机电致发光显示基板的制作中常用的方法，具体过程是在真空腔室中，对坩埚内的蒸镀材料进行加热，以使材料从固态转换为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成膜层。传统的坩埚为开放式(即，顶端形成开口)坩埚，在蒸镀之前，先将蒸镀材料放置于坩埚中，然后再将坩埚放入蒸镀腔室中进行加热蒸镀。由于坩埚为开放式坩埚，因此从蒸镀材料放入坩埚到进入腔室之前，蒸镀材料会一直暴露在外界大气中，对于吸水性材料和活泼金属类材料来说，空气中的水、氧气成分容易引起材料的变质进而影响最终的蒸镀效果，且有毒的材料会损害操作人员的健康。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种坩埚、蒸镀准备装置、蒸镀设备和蒸镀方法，以减少待蒸镀材料的变质和减少人体与待蒸镀材料的直接接触。

为了解决上述技术问题之一，本发明提供一种坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部形成有开口，所述坩埚还包括密封盖和弹性件，所述密封盖与所述坩埚本体形成可拆卸的密封连接，以使所述密封盖能够打开或密封所述开口，所述弹性件设置在所述密封盖和所述坩埚本体之间，且所述弹性件在所述密封盖密封所述开口时处于压缩状态。

优选地，所述弹性件包括扭力弹簧，所述扭力弹簧的一端设置在所述坩埚本体上，所述扭力弹簧的另一端设置在所述密封盖边缘，所述密封盖边缘的未设置所述扭力弹簧的部分通过连接件与所述坩埚本体可拆卸地连接。

优选地，所述坩埚本体包括底壁和侧壁，所述坩埚本体的侧壁包括直立部和水平延伸部，所述水平延伸部的一端与所述直立部的顶端相连，所述水平延伸部的另一端朝向所述坩埚本体外部延伸，

所述扭力弹簧的一端设置在所述水平延伸部上，所述密封盖边缘的未设置扭力弹簧的部分通过所述连接件与所述水平延伸部可拆卸地连接。

优选地，所述连接件包括卡扣，所述卡扣的一端与所述密封盖铰接，所述卡扣的另一端设置有用于与所述水平延伸部卡接的卡勾。

优选地，所述水平延伸部上设置有第一密封垫，该第一密封垫为环绕所述坩埚本体的轴线的闭合环形结构；和/或，

所述密封盖包括盖体和设置在盖体底面上的第二密封垫，该第二密封垫为环绕所述密封盖的轴线的闭合环形结构。

相应地，本发明还提供一种蒸镀准备装置，包括手套箱和本发明提供的上述坩埚，所述手套箱包括箱体和手套，所述箱体上设置有入口、用于打开和关闭该入口的箱门、手套接口，所述手套与所述手套接口密封连接，所述坩埚能够通过所述入口进入所述箱体内；所述箱体上设置有气压调节结构，所述气压调节结构用于调节所述箱体内的气压。

优选地，所述箱体上还设置有进气口，该进气口与惰性气体源相连通。

相应地，本发明还提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室与抽真空装置连通，所述蒸镀装置还包括本发明提供的上述蒸镀准备装置。

相应地，本发明还提供一种利用本发明提供的上述蒸镀设备的蒸镀方法，包括：

将所述坩埚放入所述手套箱的箱体内；

通过所述手套箱的手套将待蒸镀材料放入所述箱体中的坩埚本体内；