[发明专利]半导体结构及其制造方法在审
申请号: | 201710087324.7 | 申请日: | 2017-02-17 |
公开(公告)号: | CN108615685A | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 林柏均 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L23/10;H01L23/367;H01L23/528 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体元件 半导体结构 传导件 封装件 重布线层 制造 环绕 延伸 | ||
1.一种半导体结构,包括:
一第一半导体元件;
至少一传导件,位于该第一半导体元件上;
一第二半导体元件,位于该第一半导体元件上;
一封装件,位于该第一半导体元件上,以及该封装件环绕该第二半导体元件与该至少一传导件;以及
一重布线层,位于该第二半导体元件与该至少一传导件上。
2.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第二半导体元件位于该第一半导体元件上,该第二半导体元件与该第一半导体元件之间实质上无使用一电路基板。
3.如权利要求2所述的半导体结构,还包括一第三半导体元件,位于该第一半导体元件上,该第一半导体元件与该第三半导体元件之间实质上无使用一电路基板。
4.如权利要求1所述的半导体结构,其中该至少一传导件位于该第一半导体元件上,该至少一传导件与该第一半导体元件之间实质上无使用焊接材料。
5.如权利要求1所述的半导体结构,还包括至少一传导接合,位于该重布线层上。
6.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第一半导体元件为一存储器元件。
7.如权利要求1所述的半导体结构,还包括一第三半导体元件,位于该第一半导体元件上,其中该第二半导体元件为一逻辑元件,以及该第三半导体元件为一存储器元件。
8.如权利要求1所述的半导体结构,包括一散热路径,位于该第一半导体元件与该第二半导体元件之间。
9.如权利要求8所述的半导体结构,还包括一第三半导体元件,位于该第一半导体元件上;以及一散热路径,位于该第一半导体元件与该第三半导体元件之间。
10.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第二半导体元件与该第一半导体元件的热阻小于该第二半导体元件与该重布线层的热阻。
11.如权利要求10所述的半导体结构,还包括一第三半导体元件,位于该第一半导体元件上,其中该第三半导体元件与该第一半导体元件之间的热阻小于该第三半导体元件与该重布线层之间的热阻。
12.如权利要求1所述的半导体结构,还包括一第三半导体元件,位于该第一半导体元件上,其中该第二半导体元件与该第三半导体元件经由一粘着剂而设置于该第一半导体元件上。
13.一种半导体结构的制造方法,包括:
提供一第一半导体元件;
形成至少一传导件于该第一半导体元件上;
附接一第二半导体元件于该第一半导体元件上;
形成一封装件于该第一半导体元件上,其中该封装件环绕该第二半导体元件与该至少一传导件;以及
形成一重布线层于该第二半导体元件与该至少一传导件上。
14.如权利要求13所述的制造方法,其中附接该第二半导体元件至该第一半导体元件的制程,该第二半导体元件与该第一半导体元件之间实质上无使用一电路基板。
15.如权利要求13所述的制造方法,还包括:附接一第三半导体元件至该第一半导体元件的制程,该第三半导体元件与该第一半导体元件之间实质上无使用一电路基板。
16.如权利要求13所述的制造方法,其中附接该至少一传导件至该第一半导体元件的制程,该至少一传导件与该第一半导体元件之间实质上无使用焊接材料。
17.如权利要求13所述的制造方法,还包括形成至少一传导接合于该重布线层上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南亚科技股份有限公司,未经南亚科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710087324.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造