[发明专利]静电放电钳位器件、电路及静电放电保护电路有效
申请号: | 201710093267.3 | 申请日: | 2017-02-21 |
公开(公告)号: | CN108461488B | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 谷欣明;陈捷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电 放电 器件 电路 保护 | ||
1.一种静电放电钳位器件,其特征在于,包括:
衬底;
所述衬底上具有两个以上相隔离的阱区;
在每一个所述阱区中,包括一源极区、一漏极区和一体区,所述源极区和漏极区之间的阱区上具有一栅极,所述体区与栅极短接;
在不同的所述阱区之间,第一个所述阱区中的源极区连接一第一电源线,最后一个所述阱区中的漏极区连接一第二电源线,前一所述阱区中的漏极区连接后一所述阱区中的源极区;
其中,所述衬底、源极区和漏极区为第一导电类型,所述阱区和体区为第二导电类型;
所述静电放电钳位器件还包括第一深阱,所述阱区位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型;
所述静电放电钳位器件还包括第三深阱,所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型。
2.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述体区围绕所述源极区、栅极和漏极区。
3.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括用于隔离所述第一深阱的第二深阱,所述第二深阱为第二导电类型。
4.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第二深阱中设置有引出区,所述引出区接浮动电压,所述引出区为第二导电类型。
5.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第三深阱的掺杂浓度小于所述阱区的掺杂浓度。
6.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一深阱中还包括至少一隔离区,相邻的所述阱区之间具有至少一所述隔离区,所述隔离区为第一导电类型。
7.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。
8.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。
9.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。
10.如权利要求9所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。
11.一种静电放电保护电路,其特征在于,包括如权利要求1至9任意一项所述的静电放电钳位器件。
12.一种静电放电钳位电路,其特征在于,包括两个以上晶体管,所述两个以上晶体管位于不同的阱区中;
在每个所述晶体管中,所述晶体管的栅极与衬底短接;
第一个所述晶体管的源极连接一第一电源线,最后一个所述晶体管的漏极连接一第二电源线,前一所述晶体管的漏极连接后一所述晶体管的源极;
所述静电放电钳位电路还包括第一深阱,所述晶体管位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型;
所述静电放电钳位电路还包括第三深阱,所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型。
13.如权利要求12所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。
14.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述晶体管为PMOS晶体管。
15.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。
16.如权利要求15所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的