[发明专利]静电放电钳位器件、电路及静电放电保护电路有效

专利信息
申请号: 201710093267.3 申请日: 2017-02-21
公开(公告)号: CN108461488B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 谷欣明;陈捷 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 静电 放电 器件 电路 保护
【权利要求书】:

1.一种静电放电钳位器件,其特征在于,包括:

衬底;

所述衬底上具有两个以上相隔离的阱区;

在每一个所述阱区中,包括一源极区、一漏极区和一体区,所述源极区和漏极区之间的阱区上具有一栅极,所述体区与栅极短接;

在不同的所述阱区之间,第一个所述阱区中的源极区连接一第一电源线,最后一个所述阱区中的漏极区连接一第二电源线,前一所述阱区中的漏极区连接后一所述阱区中的源极区;

其中,所述衬底、源极区和漏极区为第一导电类型,所述阱区和体区为第二导电类型;

所述静电放电钳位器件还包括第一深阱,所述阱区位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型;

所述静电放电钳位器件还包括第三深阱,所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型。

2.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述体区围绕所述源极区、栅极和漏极区。

3.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述静电放电钳位器件还包括用于隔离所述第一深阱的第二深阱,所述第二深阱为第二导电类型。

4.如权利要求3所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第二深阱中设置有引出区,所述引出区接浮动电压,所述引出区为第二导电类型。

5.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第三深阱的掺杂浓度小于所述阱区的掺杂浓度。

6.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一深阱中还包括至少一隔离区,相邻的所述阱区之间具有至少一所述隔离区,所述隔离区为第一导电类型。

7.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。

8.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。

9.如权利要求1所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。

10.如权利要求9所述的静电放电钳位器件,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。

11.一种静电放电保护电路,其特征在于,包括如权利要求1至9任意一项所述的静电放电钳位器件。

12.一种静电放电钳位电路,其特征在于,包括两个以上晶体管,所述两个以上晶体管位于不同的阱区中;

在每个所述晶体管中,所述晶体管的栅极与衬底短接;

第一个所述晶体管的源极连接一第一电源线,最后一个所述晶体管的漏极连接一第二电源线,前一所述晶体管的漏极连接后一所述晶体管的源极;

所述静电放电钳位电路还包括第一深阱,所述晶体管位于所述第一深阱中,所述第一深阱为第一导电类型;

所述静电放电钳位电路还包括第三深阱,所述第一深阱位于所述第三深阱中,所述第三深阱为第二导电类型。

13.如权利要求12所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线为高压电源线,所述第二电源线为低压电源线。

14.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述晶体管为PMOS晶体管。

15.如权利要求12或13所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差大于等于10V。

16.如权利要求15所述的静电放电钳位电路,其特征在于,所述第一电源线和第二电源线之间的电压差为20V、30V、40V或50V。

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