[发明专利]微发光二极管的转印装置有效

专利信息
申请号: 201710093395.8 申请日: 2017-02-21
公开(公告)号: CN106876293B 公开(公告)日: 2019-03-19
发明(设计)人: 陈黎暄 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L25/075;H01L33/62
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰;顾楠楠
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 发光二极管 装置
【权利要求书】:

1.一种微发光二极管的转印装置,其特征在于:包括机架(6),在机架(6)上设有加热面朝下的加热装置(1)以及设于加热装置(1)下方可移动的冷却装置(2),所述加热装置(1)的加热面用于承载具有微发光二极管(93)的供给衬底(91),供给衬底(91)通过固定件固定于加热面上,所述冷却装置(2)的冷却面用于承载接收衬底(92);所述冷却装置(2)的冷却面与加热装置(1)的加热面相对,在加热装置(1)与冷却装置(2)之间设有滚筒机构(3),滚筒机构(3)固定在机架(6)上,所述滚筒机构(3)上设有可循环转动的传送带(4),所述传送带(4)由转印膜片构成,在传送带(4)的外表面上设有温控胶(5),通过传送带(4)上的温控胶(5)将被加热的供给衬底(91)上的微发光二极管(93)粘附后,滚筒机构(3)的转动带动传送带(4)移动至接收衬底(92)一侧,通过冷却装置对接收衬底(92)降温,温控胶(5)失去粘性,使粘附在传送带(4)上的微发光二极管(93)剥离,完成微发光二极管(93)的转印,在机架(6)上设有电源(8),电源(8)与滚筒机构(3)、加热装置(1)、冷却装置(2)电连接。

2.根据权利要求1所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述滚筒机构(3)的转动方向与冷却装置(2)的移动方向相反。

3.根据权利要求1所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述冷却装置(2)上设有与电源(8)连接的传动机构,传动机构用于驱动冷却装置(2)移动。

4.根据权利要求1所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述滚筒机构(3)包括至少一个驱动滚筒(31)以及至少一个从动滚筒(32),所述传送带(4)套在驱动滚筒(31)与从动滚筒(32)上,驱动滚筒(31)与电源(8)连接。

5.根据权利要求4所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述驱动滚筒(31)为电动滚筒。

6.根据权利要求1所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述传送带(4)的表面上阵列排布有矩形凸起(41),相邻两个矩形凸起(41)的间距相等,温控胶(5)覆盖在矩形凸起(41)上以及矩形凸起(41)之间的间隙内。

7.根据权利要求1所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述冷却装置(2)的冷却介质为液氮或干冰。

8.根据权利要求3所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述传动机构包括固定在机架(6)下端的与电源(8)连接的驱动电机(71)、设于驱动电机(71)输出轴上的驱动齿轮(72)、与驱动齿轮(72)啮合的齿条(73),在齿条(73)上设有移动平台(74),冷却装置(2)固定在移动平台(74)上。

9.根据权利要求1所述的微发光二极管的转印装置,其特征在于:所述传送带(4)采用柔性材料制成。

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