[发明专利]一种高密度五氧化二钽膜料制备方法

权利要求书

1.一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，其特征在于，将五氧化二钽粉末放入真空石墨炉中热压成型；包括以下步骤：

（1）采用机械泵抽真空到1×10³~5×10³Pa，再打开扩散泵抽真空到1×10^-3~5×10^-3Pa；然后充入氩气进行保护，升温到1300~1600℃；

（2）保持温度处于1300~1600℃，并加压到18~25MPa，保温时间25~35min，在保温期间通惰性气体氩气保护，使烧结环境状态压力在1×10³~1×10⁴Pa之间；

（3）以3~7℃/min的冷却速度冷却至室温，即得高密度五氧化二钽膜料。

2.根据权利要求1所述的一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，其特征在于，所述五氧化二钽粉末的纯度为大于99.99wt%。

3.根据权利要求1或2所述的一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，其特征在于，步骤（1）具体为：采用机械泵抽真空到2×10³Pa，再打开扩散泵抽真空到2×10^-3Pa；然后充入氩气进行保护，继续升温到1400℃。

4.根据权利要求3所述的一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，其特征在于，步骤（2）具体为：保持温度处于1400℃，并加压到20MPa，保温30min，在保温期间通惰性气体氩气保护，使烧结环境状态压力在5×10³Pa。

5.根据权利要求4所述的一种高密度五氧化二钽膜料制备方法，其特征在于，步骤（3）具体为：以5℃/min的冷却速度冷却至室温，即得高密度五氧化二钽膜料。