[发明专利]垂直腔表面发射激光器及激光器阵列

权利要求书

1.一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，包括：

隔离层，其包括具有第一半径的圆形部分和从所述圆形部分的圆周延伸的第一多个延伸部分；

金属层，其包括具有第二半径的环形部分和从所述环形部分的圆周延伸的第二多个延伸部分，

所述金属层形成在所述隔离层上，使得所述第二多个延伸部分定位在所述隔离层的所述第一多个延伸部分之上；

多个电介质通孔开口，其形成在电介质通孔层上，

所述多个电介质通孔开口中的电介质通孔开口定位在所述第一多个延伸部分中的第一延伸部分之上和所述第二多个延伸部分中的第一延伸部分之上；以及

多个氧化沟槽，

所述多个氧化沟槽中的氧化沟槽至少部分地定位在所述第一多个延伸部分中的第一延伸部分和所述第一多个延伸部分中的第二延伸部分之间。

2.如权利要求1所述的垂直腔表面发射激光器，其中，所述垂直腔表面发射激光器的宽度等于32.4微米。

3.如权利要求1所述的垂直腔表面发射激光器，其中，所述第一多个延伸部分的数量匹配所述第二多个延伸部分的数量、所述多个电介质通孔开口的数量、以及所述多个氧化沟槽的数量。

4.如权利要求1所述的垂直腔表面发射激光器，其中，所述多个电介质通孔开口中的两个或更多个被连接以形成部分环形。

5.如权利要求1所述的垂直腔表面发射激光器，其中，所述多个氧化沟槽形成为部分环形。

6.如权利要求1所述的垂直腔表面发射激光器，其中，与所述隔离层相关联的所述第一半径小于或等于与所述金属层相关联的所述第二半径。

7.如权利要求1所述的垂直腔表面发射激光器，其中，所述第一多个延伸部分、所述第二多个延伸部分和所述多个电介质通孔开口围绕所述圆形部分的圆周等距地间隔开。

8.一种表面发射激光器，包括：

隔离层，其包括第一中心部分和从所述第一中心部分的圆周延伸的第一多个外部部分；

金属层，其包括第二中心部分和从所述第二中心部分的圆周延伸的第二多个外部部分，

所述金属层形成在所述隔离层上，使得所述第二多个外部部分中的第一外部部分形成在所述第一多个外部部分中的一个之上；

钝化层，其包括多个开口，

所述多个开口中的开口形成在所述第二多个外部部分中的第一外部部分之上；以及

多个氧化沟槽，

所述多个氧化沟槽中的氧化沟槽至少部分地定位在所述第二多个外部部分中的第一外部部分和所述第二多个外部部分中的第二外部部分之间，

所述第一外部部分相邻于所述第二外部部分。

9.如权利要求8所述的表面发射激光器，其中，所述第二多个外部部分中的每个外部部分形成在所述第一多个外部部分中的一个之上，或者所述多个开口中的每个开口形成在所述第二多个外部部分中的一个之上。

10.如权利要求8所述的表面发射激光器，其中，所述第一多个外部部分的数量匹配所述第二多个外部部分的数量、所述多个开口的数量、以及所述多个氧化沟槽的数量。

11.如权利要求10所述的表面发射激光器，其中，所述第一多个外部部分的数量包括五个外部部分、六个外部部分或七个外部部分。

12.如权利要求8所述的表面发射激光器，其中，所述多个氧化沟槽形成为不规则形状。

13.如权利要求8所述的表面发射激光器，其中，所述多个开口中的两个或更多个或者所述多个氧化沟槽中的两个或更多个被连接。

14.如权利要求8所述的表面发射激光器，其中，所述第一多个外部部分、所述第二多个外部部分和所述多个开口围绕所述第一中心部分的圆周等距地间隔开。