[发明专利]一种具有镂空孔的PERC太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种具有镂空孔的PERC太阳能电池，包括自下而上依次设置的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极，所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的多条激光开槽区，多条激光开槽区平行设置，每个激光开槽区内均填充有背铝条，所述背铝条与所述的铝背场采用铝浆料一体印刷成型，铝背场通过背铝条与P型硅相连，其特征在于：所述铝背场具有多条镂空带，多条镂空带也平行设置，并且与激光开槽区相平行，多条镂空带与多条激光开槽区呈交替间隔状分布，每一条镂空带均沿着与激光开槽区平行的方向间隔开设有一排镂空孔。

2.如权利要求1所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：所述镂空孔为圆形或三角形或四边形或五边形或六边形。

3.如权利要求2所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：所述镂空孔为圆形，直径为0.5～5mm。

4.如权利要求2所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：所述镂空孔为正三角形或正四边形或正五边形或正六边形，边长为0.5～5mm。

5.如权利要求2所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：每一排的镂空孔均等间距设置，相邻两个镂空孔之间的间距为0.5～3mm。

6.如权利要求1所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：所述激光开槽区的宽度为20～100微米。

7.如权利要求1所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：所述背面氮化硅膜的厚度为80～300微米。

8.如权利要求1所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池，其特征在于：所述背面氧化铝膜的厚度为2～30nm。

9.如权利要求1至8任一项所述的具有镂空孔的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

(1)在硅片正面和背面形成绒面，所述硅片为P型硅；

(2)在所述硅片正面进行扩散形成N型硅，即N型发射极；

(3)去除硅片周边的PN结和扩散过程形成的正面磷硅玻璃；

(4)对硅片背面进行抛光；

(5)在硅片背面依次沉积背面氧化铝膜和背面氮化硅膜；

(6)在N型硅的正面沉积正面氮化硅膜；

(7)对硅片背面进行激光开槽，开通背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至硅片，形成多条激光开槽区；

(8)在所述硅片背面印刷背电极浆料，烘干；

(9)在所述硅片背面印刷铝浆料，形成铝背场，该铝背场具有多条镂空带，多条镂空带与多条激光开槽区呈交替间隔状分布，每一条镂空带均沿着与激光开槽区平行的方向间隔开设有一排镂空孔，在印刷铝背场的同时在激光开槽区内印刷铝浆料，形成背铝条，背铝条与铝背场一体印刷成型，印刷后进行烘干；

(10)在所述正面氮化硅膜的正面印刷正电极浆料，烘干；

(11)对硅片进行高温烧结，形成背银电极、铝背场和正银电极；

(12)对硅片进行抗LID退火处理，形成太阳能电池。