[发明专利]一种具有镂空孔的PERC太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 201710096576.6 | 申请日: | 2017-02-22 |
公开(公告)号: | CN106992218A | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 林纲正;方结彬;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人: | 高文龙 |
地址: | 528137 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 镂空 perc 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,具体是指一种具有镂空孔的PERC太阳能电池及其制备方法。
背景技术
晶硅太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射能,利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件,当太阳光照在半导体P-N结上,形成新的空穴-电子对,在P-N结电场的作用下,空穴由N区流向P区,电子由P区流向N区,接通电路后就形成电流。
传统晶硅太阳能电池基本上只采用正面钝化技术,在硅片正面用PECVD的方式沉积一层氮化硅,降低少子在前表面的复合速率,可以大幅度提升晶硅电池的开路电压和短路电流,从而提升晶硅太阳电池的光电转换效率。
随着对晶硅电池的光电转换效率的要求越来越高,人们开始研究背钝化太阳电池技术。背钝化电池工艺复杂,光电转换效率高,但是与常规电池一样,仍然存在电池的弯曲度过大的问题。弯曲度过大,会影响下游客户将电池封装成组件的成品率,影响组件的品质。
在生产过程中,背钝化电池会要求相匹配的铝浆以铝浆湿重等工艺参数的频繁调节,工艺窗口小,影响大规模生产以及电池的光电转换效率。而对于PERC太阳能电池,铝浆和相应的印刷烧结工艺又是影响光电转换效率的关键辅料,因此需要从其他环节解决电池的弯曲度问题。
发明内容
本发明的目的之一是提供一种具有镂空孔的PERC太阳能电池,该太阳能电池通过在铝背场上设置多个镂空孔,改善硅片的应力分布,降低铝背场的重量,减少电池弯曲度,降低碎片率,提高PERC太阳能电池的品质。
本发明的这一目的通过如下的技术方案来实现的:一种具有镂空孔的PERC太阳能电池,包括自下而上依次设置的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极,所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的多条激光开槽区,多条激光开槽区平行设置,每个激光开槽区内均填充有背铝条,所述背铝条与所述的铝背场采用铝浆料一体印刷成型,铝背场通过背铝条与P型硅相连,其特征在于:所述铝背场具有多条镂空带,多条镂空带也平行设置,并且与激光开槽区相平行,多条镂空带与多条激光开槽区呈交替间隔状分布,每一条镂空带均沿着与激光开槽区平行的方向间隔开设有一排镂空孔。
太阳能电池中的全铝背场会产生电池弯曲度过大,弯曲度过大会导致后续的下游客户封装成组件时的碎片率过高,影响组件的成品率和品质,,同时增加电池碎片率,无法保证PERC太阳能电池的品质。本发明太阳能电池中的铝背场采用设有多个镂空孔的局部铝背场,改善硅片的应力分布,降低铝背场的重量,减少电池弯曲度,同时降低电池的碎片率,提高后续电池封装成组件的成品率和组件的品质。。
本发明中,所述镂空孔为圆形或三角形或四边形或五边形或六边形。
作为优选实施例,所述镂空孔为圆形,直径为0.5~5mm。所述镂空孔为正三角形或正四边形或正五边形或正六边形,边长为0.5~5mm。
每一排的镂空孔均等间距设置,相邻两个镂空孔之间的间距为0.5~3mm
本发明中,所述激光开槽区的宽度为20~100微米。
所述背面氮化硅膜的厚度为80~300微米。
所述背面氧化铝膜的厚度为2~30nm。
与现有技术相比,本发明的太阳能电池能够降低电池弯曲度,同时降低电池的碎片率,设备投入成本低,工艺简单,且与目前生产线兼容性好。
本发明的目的之二是提供上述具有镂空孔的PERC太阳能电池的制备方法。
本发明的这一目的通过如下的技术方案来实现的:上述具有镂空孔的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
(1)在硅片正面和背面形成绒面,所述硅片为P型硅;
(2)在所述硅片正面进行扩散形成N型硅,即N型发射极;
(3)去除硅片周边的PN结和扩散过程形成的正面磷硅玻璃;
(4)对硅片背面进行抛光;
(5)在硅片背面依次沉积背面氧化铝膜和背面氮化硅膜;
(6)在N型硅的正面沉积正面氮化硅膜;
(7)对硅片背面进行激光开槽,开通背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至硅片,形成多条激光开槽区;
(8)在所述硅片背面印刷背电极浆料,烘干;
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