[发明专利]用于剥离两基板的装置及方法

权利要求书

1.一种用于剥离两基板的装置，其特征在于：所述两基板包含一柔性基板和一非柔性基板，所述柔性基板与所述非柔性基板之间具有一粘结层，所述用于剥离两基板的装置包含：

一下载座，用于承载所述两基板，所述下载座包含一底座和多个环绕于所述底座的吸嘴，所述多个吸嘴是用于吸持所述柔性基板；

一上载座，用于吸持所述非柔性基板，其中所述上载座与所述下载座可于垂直方向相对靠近与相对远离；

至少一刀具，所述至少一刀具对应地包含至少一刀片、至少一夹持臂及至少一移动臂，所述至少一刀片对应地夹持于所述至少一夹持臂的一端，所述至少一夹持臂的另一端对应地固定于所述至少一移动臂，所述至少一移动臂可使所述至少一刀片在X、Y、Z三个轴向进行移动，所述至少一刀片是用于侵入至所述柔性基板与所述非柔性基板之间的所述粘结层；

一离子风产生器；以及

一载座倾斜部件，设置于所述下载座的其中一角的下方或所述上载座的其中一角的上方，所述载座倾斜部件是用于使所述下载座的其中一角向下倾斜或者使所述上载座的其中一角向上倾斜；

其中所述至少一刀片的一端具有一平刃边及至少一斜刃边，所述平刃边是垂直于所述至少一刀片的长边，所述至少一斜刃边与所述平刃边之间具有一钝角，所述平刃边是用于插入至所述粘结层，所述至少一斜刃边是用于水平切割所述粘结层，所述至少一斜刃边所设置的方向是相同于所述至少一刀片于水平切割所述粘结层时所移动的方向；

所述离子风产生器是用于产生离子风并将所述离子风吹进至所述两基板之间的间隙中，所述间隙是通过所述至少一刀片插入至所述粘结层，且水平切割所述粘结层，接续使所述下载座的其中一角向下倾斜或使所述上载座的其中一角向上倾斜所形成的。

2.根据权利要求1所述的用于剥离两基板的装置，其特征在于：所述至少一刀片的水平度是介于0微米至正50微米之间。

3.根据权利要求2所述的用于剥离两基板的装置，其特征在于：所述至少一刀片的水平度是正20微米。

4.根据权利要求1所述的用于剥离两基板的装置，其特征在于：当所述载座倾斜部件是设置于所述下载座的其中一角的下方时，所述向下倾斜的角度是介于-1度至-3度之间；当所述载座倾斜部件是设置于所述上载座的其中一角的上方时，所述向上倾斜的角度是介于1度至3度之间。

5.根据权利要求4所述的用于剥离两基板的装置，其特征在于：当所述载座倾斜部件是设置于所述下载座的其中一角的下方时，所述向下倾斜的角度是-2度；当所述载座倾斜部件是设置于所述上载座的其中一角的上方时，所述向上倾斜的角度是2度。

6.根据权利要求1所述的用于剥离两基板的装置，其特征在于：所述多个吸嘴的间距是小于或等于40毫米。