[发明专利]承载装置和曝光设备

权利要求书

1.一种承载装置，包括承载台，所述承载台上设置有贯穿该承载台的升降通道，所述升降通道内设置有升降结构，所述升降结构与所述升降通道的内壁之间存在间隔，其特征在于，

所述升降结构与所述升降通道的内壁之间还设置有光反射补偿块，所述光反射补偿块的顶面与所述承载台的承载面的光反射率之差、所述光反射补偿块的顶面与所述升降结构的顶面的光反射率之差均不大于预定阈值，所述预定阈值为2％；

所述升降结构包括升降部和设置在该升降部顶端的支撑部；

所述光反射补偿块包括安装本体和设置在该安装本体顶面的反射层，所述反射层的上表面形成为所述光反射补偿块的顶面；所述安装本体包括设置在所述升降通道内壁上的外环体和设置在所述支撑部上、并环绕该支撑部的内环体。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述光反射补偿块在水平面上的正投影与所述升降结构在水平面上的正投影的总投影完全覆盖所述升降通道在所述水平面上的正投影。

3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述升降结构顶面的光反射率与所述承载台的承载面的光反射率相等。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的承载装置，其特征在于，所述支撑部为板状结构。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，当所述支撑部的顶面与所述承载台的承载面平齐时，所述支撑部的顶面、所述光反射补偿块的顶面和所述承载台的承载面形成连续的平面。

6.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述外环体包括与升降通道内壁接触的外表面和背离所述升降通道内壁的内表面，所述内环体包括朝向所述支撑部的内表面和背离所述支撑部的外表面；

沿从所述升降结构的顶端至底端方向，所述内环体的外表面逐渐靠近或阶段式靠近所述支撑部，所述外环体的内表面与所述内环体的外表面相匹配，以使得所述支撑部的顶面与所述承载台的承载面平齐时，所述内环体的外表面与所述外环体的内表面贴合。

7.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述安装本体采用柔性材料制成。

8.一种曝光设备，其特征在于，包括权利要求1至7中任意一项所述的承载装置。