[发明专利]一种用于透射电子显微镜的荧光屏的制作方法

权利要求书

1.一种用于透射电子显微镜的荧光屏的制作方法，包括荧光屏，其特征在于：所述荧光屏包括基板层、荧光粉层、铝膜层；基板层与荧光粉层之间靠无机粘合剂粘结；

具体步骤包括：a)配制浓度为1.5～3％的钾水玻璃(模数m＝2.5～3.5)水溶液；配制浓度为0.02～0.05％的电解质(可溶性钡盐或锶盐)水溶液。

b)根据要沉淀到荧光屏上的荧光粉厚度称取适量荧光粉；按照荧光粉重量(克)与钾水玻璃水溶液体积(毫升)之比为1∶120～1：300混合，使用磁力搅拌器搅拌30分钟，形成悬浊液。

c)将基板放入沉积槽中，加入可溶性钡盐或锶盐水溶液，将搅拌好的悬浊液直接用400目滤筛过滤到沉积槽中进行自然沉降。静置30分钟后混合液澄清，大部分荧光粉沉积到了底部。打开沉积槽的溢流阀，使清液缓慢流净，取出基板放入恒温干燥箱中在120℃下让荧光粉层充分干燥，形成厚度10～30um的荧光层。

d)基板上看似平整的荧光粉层经放大后可以发现是凸凹不平的，若直接蒸镀一层铝膜，铝原子将渗透进粉粒间隙形成黑铝。因此蒸铝之前要在荧光粉层上涂一层有机膜，使荧光粉层表面变得相对平滑，然后在真空度低于10-3Pa的真空蒸镀仪中蒸镀铝导电层。

e)将蒸铝后的基板放入马弗炉于500℃下高温焙烧一小时，自然降温后取出。此时蒸镀的铝膜平整性好而具有良好的反射性，荧光屏的亮度大大提高。

2.根据权利有求1所述的一种用于透射电子显微镜的荧光屏的制作方法，其特征在于：所述的荧光屏制作方法中采用钾水玻璃(K2O.mSiO2，m称为模数)作为粘合剂；可溶性钡盐或锶盐作为沉淀剂。