[发明专利]低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推测方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温泵真空容器；

真空计，设置于所述低温泵真空容器，以便测量所述低温泵真空容器内的真空度，并输出真空测量信号；以及

吸留气体量推测部，其与所述真空计连接，以便从所述真空计接收所述真空测量信号，并且所述吸留气体量推测部具备极限压力确定部和吸留气体量定量化部，

所述极限压力确定部根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力，

所述吸留气体量定量化部具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数，并且将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

还具备输出所述吸留气体量推测值的输出部。

3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，

所述输出部输出所述吸留气体量推测值相对于低温泵的吸留气体容量的比率。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述低温泵真空容器具有可以用闸阀关闭的低温泵进气口，

所述吸留气体量推测部具备：输入部，接收吸留气体量推断开始指令；以及闸阀指令生成部，接收所述吸留气体量推断开始指令后向所述闸阀输出关闭指令，

所述极限压力确定部在所述闸阀关闭后待机规定时间，并在待机所述规定时间之后，根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述真空计为能够测量10^-5Pa的高真空度的电离真空计。

6.一种低温泵吸留气体量推测装置，其特征在于，具备：

极限压力确定部，根据表示低温泵真空容器内的真空度的真空测量信号，确定所述低温泵真空容器的极限压力；以及

吸留气体量定量化部，具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数，并将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。

7.一种低温泵吸留气体量推测方法，其特征在于，具备如下步骤：

测量低温泵真空容器内的真空度并生成真空测量信号；

根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力；以及

使用使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。