[发明专利]低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推测方法

说明书

本发明提供一种有助于恰当地设定低温泵再生间隔的指标。低温泵吸留气体量推测装置具备：极限压力确定部(110)，根据表示低温泵真空容器内的真空度的真空测量信号(V)，确定低温泵真空容器的极限压力(P)；及吸留气体量定量化部(112)，具备使极限压力(P)与吸留气体量推测值(G)建立关联的吸留气体量定量化函数(116)，并且将极限压力(P)转换成吸留气体量推测值(G)。

本申请主张基于2016年3月22日申请的日本专利申请第2016-057049号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵、低温泵吸留气体量推测装置以及低温泵吸留气体量推测方法。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板从而进行排气的真空泵。低温泵通常是为了实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境而进行利用。

专利文献1：日本特开平9-14133号公报

由于低温泵是捕集式真空泵，因此，通过低温泵的真空排气运行，气体会蓄积到低温泵。随着气体的蓄积，低温泵的排气速度逐渐下降。因此，为了从低温泵排出已蓄积的气体以使排气速度恢复到初始水平，定期进行低温泵的再生。上一次再生结束之后到进行下一次再生为止的真空排气运行期间又称作再生间隔。由于再生期间无法进行低温泵的真空排气运行，因此希望再生间隔尽可能长。

在低温泵的某一用途中，为了在真空处理工艺中使用而导入的气体占捕捉于低温泵的气体的大部分。通常，对真空处理工艺中导入的气体进行管理并进行计量。由于通过计算可以从气体导入量准确地获取低温泵的吸留气体量，因此据此可以容易地设定再生间隔。

相对于此，在另一用途中，为了去除真空处理工艺中的副产气体(例如，离子注入工艺中产生的较多的氢气)而使用低温泵。副产气体的产生量一般不明确。因此，低温泵的吸留气体量也不明确，很难恰当地设定再生间隔。如上所述，不提倡较短的再生间隔。若再生间隔过长，则低温泵的排气速度会显著下降，可能会频繁出现真空不良现象。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提供有助于恰当地设定低温泵再生间隔的指标。

根据本发明的一种实施方式方式，低温泵具备：低温泵真空容器；真空计，设置于所述低温泵真空容器，以便测量所述低温泵真空容器内的真空度，并输出真空测量信号；以及吸留气体量推测部，其与所述真空计连接，以便从所述真空计接收所述真空测量信号，并且所述吸留气体量推测部具备极限压力确定部和吸留气体量定量化部，所述极限压力确定部根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力，所述吸留气体量定量化部具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数，并且将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。

根据本发明的一种实施方式，低温泵吸留气体量推测装置具备：极限压力确定部，根据表示低温泵真空容器内的真空度的真空测量信号，确定所述低温泵真空容器的极限压力；以及吸留气体量定量化部，具备使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数，并将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。

根据本发明的一种实施方式，低温泵吸留气体量推测方法具备如下步骤：测量低温泵真空容器内的真空度并生成真空测量信号；根据所述真空测量信号确定所述低温泵真空容器的极限压力；以及使用使所述极限压力与吸留气体量推测值建立关联的吸留气体量定量化函数将所述极限压力转换成所述吸留气体量推测值。

另外，上述构成要件的任意组合或本发明的构成要件或表现在装置、方法、系统、计算机程序、存储有计算机程序的存储介质等之间的互相置换也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，能够提供有助于恰当地设定低温泵再生间隔的指标。

附图说明