[发明专利]一种基板加热炉温度监测系统及方法

权利要求书

1.一种基板加热炉温度监测系统，其特征在于，包括温度监测器，所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上，所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度；所述基板上环绕显示区的基板空白区内设置有非透明测温块；

所述温度监测器包括红外探头和红外探测模块；所述红外探头用于将所述非透明测温块辐射的红外光汇聚到所述红外探测模块上，所述红外探测模块将红外光转换为与所述基板的温度对应的信号，以监测所述基板的温度；

所述基板为阵列基板，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的栅极的材料、所述阵列基板的源漏层的材料和所述阵列基板的对位标记的材料中的一种相同；或者，

所述基板为彩膜基板，所述非透明测温块的材料与所述彩膜基板的黑矩阵的材料和所述彩膜基板的对位标记的材料中的一种相同。

2.根据权利要求1所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述叉齿上开设有安装孔，所述安装孔具有第一开口，所述第一开口位于所述叉齿与所述基板接触的表面上；

所述红外探测模块和所述红外探头均设置在所述安装孔内，所述红外探头朝向所述安装孔的第一开口。

3.根据权利要求2所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述非透明测温块与所述安装孔的第一开口对应。

4.根据权利要求3所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述非透明测温块的中心线、所述安装孔的中心线和所述红外探头的中心线重合。

5.根据权利要求3所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述非透明测温块在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影覆盖所述安装孔的第一开口在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影，所述安装孔的第一开口在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影覆盖所述红外探头在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影。

6.根据权利要求2所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述温度监测器还包括安装架，所述安装架包括底板和扣合在所述底板上的壳体，所述底板与所述叉齿固定连接，所述壳体上开设有通孔；

所述红外探测模块和所述红外探头均固定设置在所述底板与所述壳体之间的空腔内，所述红外探头的前端穿过所述通孔，并伸出所述空腔。

7.根据权利要求2所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述温度监测器还包括第一信号转换模块、信号放大模块、模数转换模块和第二信号转换模块，所述第一信号转换模块与所述红外探测模块信号连接，所述信号放大模块与所述第一信号转换模块信号连接，所述模数转换模块与所述信号放大模块信号连接，所述第二信号转换模块与所述模数转换模块信号连接；

所述第一信号转换模块将所述红外探测模块输出、与所述基板的温度对应的模拟电流信号转换为模拟电压信号；

所述信号放大模块将经所述第一信号转换模块转换后得到的模拟电压信号放大；

所述模数转换模块将经所述信号放大模块放大后的模拟电压信号转换为数字电压信号；

所述第二信号转换模块将经所述模数转换模块转换后得到的数字电压信号转换为与所述基板的温度对应的温度信号。

8.根据权利要求1所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述基板加热炉温度监测系统还包括控制单元，所述控制单元与所述温度监测器信号连接，所述控制单元还与所述机械手臂上的基板检测器信号连接；

所述控制单元接收所述基板检测器所检测到的所述叉齿抬起经所述基板加热炉加热后的所述基板的信号后，使所述温度监测器监测经所述基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度；

所述控制单元还将所述温度监测器所监测到的所述基板的温度与预设温度范围进行比较。