[发明专利]输送用支架和输送方法

权利要求书

1.一种输送用支架，其用于输送能够上下分割的腔室，其特征在于，

该输送用支架具备：

中央框架，其沿着第1方向延伸；

两个侧方框架，其在所述中央框架的所述第1方向上的两端沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸；

多个固定件，其用于将所述腔室固定于所述中央框架，

所述腔室被分割成包括所述腔室的顶面的上部零部件和包括所述腔室的底面的下部零部件，

所述多个固定件分别将所述上部零部件以所述顶面朝向所述中央框架侧的方式固定于所述两个侧方框架之间的所述中央框架的侧面，以及/或者将所述下部零部件以所述底面朝向所述中央框架侧的方式固定于所述两个侧方框架之间的所述中央框架的侧面。

2.根据权利要求1所述的输送用支架，其特征在于，

所述多个固定件分别用于将从1个所述腔室分割出的所述上部零部件固定于所述中央框架的一个侧面，将从所述1个腔室分割出的所述下部零部件固定于所述中央框架的另一个侧面。

3.根据权利要求2所述的输送用支架，其特征在于，

所述多个固定件的至少一部分设置于所述中央框架，

设置到所述中央框架的所述固定件用于将所述上部零部件的顶面和所述下部零部件的底面固定于所述中央框架。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的输送用支架，其特征在于，

该输送用支架还具备设置于所述中央框架的上方和所述侧方框架的上方的作业用踏板和包围所述作业用踏板的防止跌落部。

5.根据权利要求4所述的输送用支架，其特征在于，

在所述侧方框架设有用于供作业者登上所述作业用踏板的梯子。

6.根据权利要求5所述的输送用支架，其特征在于，

所述梯子能够收容于所述侧方框架。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的输送用支架，其特征在于，

所述中央框架具有：

多个柱，其沿着上下方向延伸；

梁，其沿着所述第1方向延伸；

多个斜撑，其倾斜地设置于所述多个柱之间。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的输送用支架，其特征在于，

所述腔室是FPD即平板显示器用的处理腔室、FPD用的输送腔室、或FPD用的加载互锁腔室。

9.一种输送方法，在该输送方法中，输送能够上下分割的腔室，该输送方法的特征在于，

该输送方法包括如下工序：

设置工序，在该设置工序中，将输送用支架设置于输送用车辆的车厢，该输送用支架具备：中央框架，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架，其在所述中央框架的所述第1方向上的两端沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸；

配置工序，在该配置工序中，对于被分割成包括所述腔室的顶面的上部零部件和包括所述腔室的底面的下部零部件的所述腔室，将所述上部零部件以所述顶面朝向所述中央框架侧的方式配置于所述两个侧方框架之间的所述中央框架的侧面，以及/或者将所述下部零部件以所述底面朝向所述中央框架侧的方式配置于所述两个侧方框架之间的所述中央框架的侧面；

固定工序，在该固定工序中，利用设置于所述输送用支架的多个固定件将所述上部零部件的顶面和所述下部零部件的底面中的至少任一者固定于所述中央框架的侧面；

以及输送工序，在该输送工序中，利用所述输送用车辆输送被固定到所述中央框架的侧面的所述上部零部件和所述下部零部件中的至少任一者。

10.根据权利要求9所述的输送方法，其特征在于，

从1个所述腔室分割出的所述上部零部件被所述多个固定件固定于所述中央框架的一个侧面，

从所述1个腔室分割出的所述下部零部件被所述多个固定件固定于所述中央框架的另一个侧面。