[发明专利]输送用支架和输送方法

说明书

本发明提供一种容易地输送腔室的输送用支架和输送方法。一种输送用支架(10)，其用于输送能够上下分割的腔室，其具备：中央框架(20)，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架(30)，其在中央框架(20)的第1方向上的两端沿着与第1方向交叉的第2方向延伸；多个安装板(24)，其用于将腔室固定于中央框架(20)。腔室被分割成包括腔室的顶面(710)的上部零部件(71)和包括腔室的底面(720)的下部零部件(72)。多个安装板(24)分别将上部零部件(71)和下部零部件(72)中的至少任一者以顶面(710)或底面(720)成为沿着中央框架(20)的侧面的朝向的方式固定于两个侧方框架(30)之间的中央框架(20)的侧面。

技术领域

本发明的各种技术方案和实施方式涉及输送用支架和输送方法。

背景技术

平板显示器基板的母板玻璃基板的尺寸越大，可从一张母板玻璃基板取得的面板的数量越多，因此能够降低成本。因此，近年来，母板玻璃基板日趋大型化。另外，伴随着母板玻璃基板的大型化，用于制造玻璃基板或检查玻璃基板的装置也不断朝大型化发展。

不过，用于制造平板显示器基板等的装置在被生产者制造了之后，被搬运并设置到生产现场。不过，若装置变得大型，则由于大小、重量的关系，难以将一台装置保持原样地输送。

因此，公知有如下技术：通过将装置沿着宽度方向或进深方向分割，将分割出的零部件逐个输送，并在输送目的地进行接合，从而将大型的装置输送到输送目的地。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-73688号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，制造平板显示器基板等的装置大多要求气密性。但是，在将沿着宽度方向或进深方向分割开的装置再次接合了的情况下，难以抑制气密性的降低。因此，沿着宽度方向或进深方向将装置分割来输送并不理想。

另外，也想到将装置沿着上下方向分割，但对于仅沿着上下方向进行了分割而言，虽然通过分割能够抑制装置的重量，但无法缩小装置的宽度、进深的尺寸。因此，导致装置从输送用车辆的车厢露出，难以输送装置。

用于解决问题的方案

本发明的一个技术方案是用于输送能够沿着上下分割的腔室的输送用支架，其具备：中央框架，其沿着第1方向延伸；两个侧方框架，其在所述中央框架的所述第1方向上的两端沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸；以及多个固定件，其用于将所述腔室固定于所述中央框架。所述腔室被分割成包括所述腔室的顶面的上部零部件和包括所述腔室的底面的下部零部件。所述多个固定件分别将所述上部零部件和所述下部零部件中的至少任一者以所述顶面或所述底面成为沿着所述中央框架的侧面的朝向的方式固定于所述两个侧方框架之间的所述中央框架的侧面。

发明的效果

采用本发明的各种技术方案和实施方式，能够容易地输送腔室。

附图说明

图1是表示输送用支架的一个例子的图。

图2是表示输送用支架固定到输送用车辆的车厢的状态的一个例子的图。

图3是表示腔室的一个例子的剖视图。

图4是用于说明腔室的装载顺序的一个例子的图。

图5是安装板附近的放大图。