[发明专利]一种薄膜流平设备

权利要求书

1.一种薄膜流平设备，包括用于气浮基板的气浮平台，其特征在于，还包括空化装置，所述空化装置设置于所述气浮平台和基板的上方，且能够在所述气浮平台的范围内水平移动，用于去除所述基板在封装过程中产生的气泡；

所述空化装置为用于产生超声波的超声波发生装置，所述超声波发生装置产生的超声波作用于所述基板上；

还包括流平装置，所述流平装置设置于所述气浮平台和基板的上方，且能够在所述气浮平台的范围内水平移动；

所述流平装置为用于产生次声波的次声波发生装置，所述次声波发生装置产生的次声波作用于所述基板上。

2.如权利要求1所述的薄膜流平设备，其特征在于，还包括固化装置，所述固化装置设置于所述气浮平台和基板的上方，且能够在所述气浮平台的范围内水平移动。

3.如权利要求2所述的薄膜流平设备，其特征在于，所述薄膜流平设备容置于腔室内，所述腔室内设置至少一根导轨，所述导轨的两端分别与所述腔室相对设置的两个侧壁相连，所述空化装置、流平装置和固化装置与所述导轨相连，并能够沿所述导轨移动。

4.如权利要求3所述的薄膜流平设备，其特征在于，所述空化装置、流平装置和固化装置均连接相同的导轨，且所述流平装置位于所述固化装置和所述空化装置之间。

5.如权利要求3所述的薄膜流平设备，其特征在于，所述导轨为至少两根，且至少两根导轨的高度不同；

所述空化装置、流平装置和固化装置中，至少一个装置的高度与其他两个装置的高度不同。

6.如权利要求1-5任一项所述的薄膜流平设备，其特征在于，所述气浮平台内设置有冷却水管路，且所述气浮平台的侧壁设置有进水口和出水口，所述冷却水管路的两端分别与所述进水口和出水口相连。

7.如权利要求3-5任一项所述的薄膜流平设备，其特征在于，还包括静电去除装置，所述静电去除装置设置于所述腔室的内壁上。