[发明专利]一种薄膜流平设备

说明书

本发明提供一种薄膜流平设备包括空化装置和用于气浮基板的气浮平台，空化装置设置于基板的上方，空化装置可以在气浮平台的范围内水平移动，从而对气浮于气浮平台上方的基板的进行扫描，去除基板封装过程中墨水内部以及孔洞中形成的气泡，避免气泡破裂形成空洞，从而提高产品品质和产品良率。对于PPI较大的显示器件来说，产品品质提高的效果尤为明显。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种薄膜流平设备。

背景技术

近年来，随着市场需求不断提升，柔性OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示成为了显示行业发展的重点方向，OLED封装技术的好坏决定了产品的使用寿命，而三叠层结构(CVD-Flatness-CVD)以其优异的性能成为当前柔性OLED封装的主要方式。三叠层结构中的平坦层通过喷墨形成，用于覆盖像素区，墨水被打印在器件后，先在气浮平台上进行自然流平，然后进行固化，因此流平效果完全取决于墨水与基底材料的湿润性，自然流平时经常会有空洞产生，影响产品良率。

结合图1a和图1b所示，OLED面板包括基板1和基底11，基底11上设置有多个用于放置发光材料的孔洞12，各孔洞12与各个像素相对应。发光材料13放置在孔洞12中，在发光材料13上形成CVD层14，在CVD层14上打印墨水15以形成平坦层16。随着需求的不断提升，对显示器件PPI(Pixels Per Inch，像素密度)的要求也不断提高，孔洞12的尺寸也会越来越小，墨水15滴落在基底11上时，会瞬间覆盖孔洞12，孔洞12中的气体瞬间被覆盖在墨水15的下方形成气泡17，此外，在孔洞12外侧的平坦层16的内部(即墨水15的内部)也会产生气泡17。如果不能快速去除上述气泡17，墨水15固化后，在平坦层16和孔洞12内的气泡17破裂形成空洞，降低产品良率。随着PPI的增加，墨水15的流平难度增加，空洞出现增多，产品瑕疵更为明显。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供一种薄膜流平设备，用以至少部分解决柔性OLED封装过程中产生的气泡造成产品瑕疵的问题。

本发明为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本发明提一种薄膜流平设备，包括用于气浮基板的气浮平台，其特征在于，还包括空化装置，所述空化装置设置于所述气浮平台和基板的上方，且能够在所述气浮平台的范围内水平移动。

优选的，所述空化装置为用于产生超声波的超声波发生装置，所述超声波发生装置产生的超声波作用于所述基板上。

进一步的，所述薄膜流平设备还包括流平装置，所述流平装置设置于所述气浮平台和基板的上方，且能够在所述气浮平台的范围内水平移动。

优选的，所述流平装置为用于产生次声波的次声波发生装置，所述次声波发生装置产生的次声波作用于所述基板上。

进一步的，所述薄膜流平设备还包括固化装置，所述固化装置设置于所述气浮平台和基板的上方，且能够在所述气浮平台的范围内水平移动。

优选的，所述薄膜流平设备容置于腔室内，所述腔室内设置至少一根导轨，所述导轨的两端分别与所述腔室相对设置的两个侧壁相连，所述空化装置、流平装置和固化装置与所述导轨相连，并能够沿所述导轨移动。

优选的，所述空化装置、流平装置和固化装置均连接相同的导轨，且所述流平装置位于所述固化装置和所述空化装置之间。

优选的，所述导轨为至少两根，且至少两根导轨的高度不同；

所述空化装置、流平装置和固化装置中，至少一个装置的高度与其他两个装置的高度不同。

进一步的，所述气浮平台内设置有冷却水管路，且所述气浮平台的侧壁设置有进水口和出水口，所述冷却水管路的两端分别与所述进水口和出水口相连。