[发明专利]一种锐角金属图形剥离方法

权利要求书

1.一种锐角金属图形剥离方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在锐角缺损的金属图形上涂覆聚酰亚胺层并烘干；

S2、在所述聚酰亚胺层上涂覆光刻胶，采用光刻显影定义出聚酰亚胺层的打开位置；

S3、根据所述打开位置，采用刻蚀方式打开聚酰亚胺层，定义出锐角位置，锐角位置的两个自由端与锐角缺损的金属图形部分重叠；

S4、在所述锐角位置再次沉积金属；

S5、去除光刻胶，得到具有完整锐角的金属图形。

2.根据权利要求1所述的锐角金属图形剥离方法，其特征在于，所述步骤S3中，锐角位置与锐角缺损的金属图形单边重叠长度不小于0.5μm。

3.根据权利要求 1或2所述的锐角金属图形剥离方法，其特征在于，所述步骤S4中再次沉积的金属单边长度不超过10μm。

4.根据权利要求 3所述的锐角金属图形剥离方法，其特征在于，所述步骤S5之后还包括步骤S6：在所述具有完整锐角金属图形晶圆表面沉积SiO₂或SiN。