[发明专利]基板检查装置及基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查方法，在对电路基板上形成的导体图案，基于通过检查探针流过的电流测量电特性值，并基于该电特性值的测量值判定所述电路基板的合格与否的基板检查方法中，包括以下步骤：

在第1次的测量值偏离容许范围的情况下，改变对所述检查探针的电流的方向进行第2次的测量，

在该第2次的测量值偏离所述容许范围的情况下，以测量出所述第1次的测量值和所述第2次的测量值之中的偏离容许范围的差较小一方的测量值时的电流的方向进行第3次以后的测量。

2.如权利要求1所述的基板检查方法，

在所述测量值为所述容许范围内的情况下判定为合格，在没有被判定为合格的情况下反复进行测量，在测量次数达到了上限的情况下判定为不合格。

3.一种基板检查装置，在基于电路基板上形成的导体图案中流过的电流来测量电特性值，并基于该电特性值的测量值判定所述电路基板的合格与否的基板检查装置中，包括：

一对检查探针，其接触到所述导体图案；

切换部件，用于切换在所述检查探针间流过的电流的方向；

检查判定单元，比较所述测量值和预先确定的阈值，在所述测量值为容许范围内的情况下，将所述电路基板判定为合格；以及

电流方向控制单元，在第1次的测量值没有被所述检查判定单元判定为合格的情况下，控制所述切换部件，使得改变对所述检查探针的电流的方向，在第2次的测量值没有被所述检查判定单元判定为合格的情况下，控制所述切换部件，使得所述检查探针的电流的方向为测量出所述第1次的测量值和所述第2次的测量值之中的偏离容许范围的差较小一方的测量值时的电流的方向。

4.如权利要求3所述的基板检查装置，还包括：

条件设定单元，设定测量次数的上限；以及

反复控制单元，在没有被所述检查判定单元判定为合格的情况下，反复进行测量直至所述测量次数达到上限为止，

所述检查判定单元在没有被判定为合格而所述测量次数达到了上限的情况下判定为不合格。