[发明专利]一种显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：

基板；

主动开关，设置在基板上；

所述主动开关与所述基板之间设有遮光层，所述主动开关包括半导体层，所述遮光层完全覆盖所述半导体层。

2.如权利要求1所述的一种显示面板，其特征在于，所述遮光层包括设置在所述半导体层下方的第一金属层和半穿透层；所述第一金属层设在所述半穿透层上，所述半穿透层完全覆盖所述半导体层。

3.如权利要求2所述的一种显示面板，其特征在于，所述半穿透层在所述基板基板上间隔设置，所述第一金属层横跨相邻两个所述半穿透层的间隔区域，所述第一金属层的两端分别设在相邻的两个所述半穿透层上，所述半穿透层和所述第一金属层完全覆盖所述半导体层。

4.如权利要求2所述的一种显示面板，其特征在于，所述第一金属层和所述半穿透层采用同一道光罩制作。

5.如权利要求2所述的一种显示面板，其特征在于，所述主动开关包括第二金属层，所述第二金属层包括源极金属层和漏极金属层，所述源极金属层和所述漏极金属层设在所述半导体层两端上，所述源极金属层和所述漏极金属层之间设有沟道，所述沟道底部为所述半导体层。

6.如权利要求5所述的一种显示面板，其特征在于，所述半导体层与所述源极金属层和所述漏极金属层之间设有氮离子层。

7.如权利要求2所述的一种显示面板，其特征在于，所述第一金属层的下部包括第一高附着金属层，所述第一金属层的上部包括第二高附着金属层，所述第一金属层中间包括中间导电层。

8.如权利要求7所述的一种显示面板，其特征在于，所述中间导电层底部宽度大于顶部，所述中间导电层的厚度大于第一高附着金属层和第二高附着金属层的厚度。

9.一种显示面板的制造方法，其特征在于，所述显示面板包括基板和设置在基板上的主动开关，所述主动开关包括半导体层；所述制造方法包括步骤：

在基板上设置半穿透层材料；

在基板穿透层材料上设置金属层材料；

采用同一半色调光罩制程获得完全覆盖所述半导体层的遮光层。

10.如权利要求9所述的一种显示面板的制造方法，其特征在于，所述遮光层包括设置在所述半导体层下方的第一金属层和半穿透层；所述采用同一半色调光罩制程获得完全覆盖所述半导体层的遮光层的步骤包括：

在金属层材料上设置光阻材料；

采用半色调光罩制程获得半穿透层的图案；

采用湿蚀刻制程蚀刻金属材料层；

采用干蚀刻和光刻胶灰化制程获得第一金属层的图案和所述半穿透层；

采用湿蚀刻制程获得第一金属层；

去除残留的光阻材料。