[发明专利]具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法

说明书

本发明公开一种具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法，所述具有薄膜图案的基板包含：一基板；至少一薄膜图案层，配置于该基板上；及一周边图案层，配置于该基板上，无缝地环绕于该薄膜图案层。本发明运用光阻掀离制程的技术手段，来实现一次光罩、无蚀刻或一次蚀刻的技术功效，并达到无缝薄膜图案制作的特殊技术功效。

技术领域

本发明关于一种基板，特别关于一种具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法。

背景技术

目前，智能型装置如智能型手机、智能型手表、智能型医疗器材等，都搭配有大屏幕让用户观看屏幕上的信息。这些具有大屏幕的装置，除了功能强大外，逐渐都走向个性化、美观的造型设计，包括外观、形状、色彩等。这些都必须通过令人激赏的外壳设计与制造来实现。而目前，立体化的外壳造型，特别吸引人，也逐渐成为智能型装置的未来潮流。

立体化外壳上可制作图案、线路、保护薄膜等。而直接在已经立体化的外壳上制作图案、线路、保护薄膜等的技术，有以下几种工法：第一种工法：转印技术。通过预先制作的平面图样，再转印到目标的立体。此种工法的加工成本低，但加工速度慢、材料成本高，且线路分辨率差。第二种工法：喷墨×雷射雕刻。通过喷墨方法将颜料喷至目标的立体，再通过雷射雕刻的方式将图案刻出。此种工法加工成本高且加工速度慢，设备成本也很高，材料成本也高，优点是，线路分辨率高，可达20μm(微米)。

不过，若要在平面或立体基板上制作金属材质的图案，则必须通过多次的光罩、显影、蚀刻等制程，不仅技术过程繁琐，且有多次用相同的光罩，必须进行准确定位的问题。这也导致合格率不高的结果。

因此，如何能开发出同时具备加工成本低、加工速度快、材料成本低、线路分辨率高、制程合格率高的薄膜图案加工方法，并且，可在平面基板、立体基板上制作出图案或保护薄膜等，成为智能型装置厂商所希求的发展方向。

发明内容

为达上述目的，本发明提供一种具有薄膜图案的基板及形成薄膜图案于基板的方法，运用光阻掀离制程的技术手段，来实现一次光罩、无蚀刻或一次蚀刻的技术功效，并达到无缝薄膜图案制作的特殊技术功效。

本发明提供一种形成薄膜图案于一基板的方法，包含以下步骤：于一基板上形成一基底色层；于具有该基底色层的该基板上形成一掀离光阻层；以一光罩贴合于该基板上；曝光；移除未被曝光的该掀离光阻层，并形成一图案空间；移除该掀离光阻层所构成的该图案空间下方的该基底色层；于具有该图案空间的该基板上形成至少一薄膜层；及移除该掀离光阻层以形成一薄膜图案。

本发明还提供一种形成薄膜图案于一基板的方法，包含以下步骤：于一基板上形成一基底光阻层；于具有该基底色层的该基板上形成一掀离光阻层；以一光罩贴合于该基板上；曝光；一次移除未被曝光的该掀离光阻层与该基底光阻层，并形成一图案空间；于具有该图案空间的该基板上形成至少一薄膜层；及移除该掀离光阻层以形成一薄膜图案。

本发明还提供一种具有薄膜图案的基板，包含：一基板；至少一薄膜图案层，配置于该基板上；及一周边图案层，配置于该基板上，无缝地环绕于该薄膜图案层。

附图说明

图1A-图1D为本发明的具有薄膜图案的基板的制作方法流程图的具体实施例。

图2A-图2B为欲运用本发明的具有薄膜图案的基板的一具体实施例的正面及部分剖面放大示意图。

图3A-图3F为本发明的图1D的制作流程剖面示意图。

图4A-图4G为本发明的图1B的制作流程剖面示意图。

图5为本发明的具有薄膜图案的基板的另一具体实施例。

图6为本发明的具有薄膜图案的基板的又一具体实施例。

图中：

1、4 具有薄膜图案的基板；