[发明专利]显影排泡装置以及显影机有效
申请号: | 201710153680.4 | 申请日: | 2017-03-15 |
公开(公告)号: | CN107045269B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 李飞 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 装置 以及 | ||
1.一种显影排泡装置,其特征在于,包括:
储液箱;
回收管路,所述回收管路的第一端用于回收显影液且第二端与所述储液箱连通;
聚泡器,所述聚泡器用于收集所述储液箱内的气泡;以及,
排泡组件,所述排泡组件用于将所述聚泡器内的气泡排出;
其中,所述排泡组件包括抽气单元以及排泡管路,所述排泡管路的第一端与所述聚泡器连通且所述排泡管路的第二端与所述抽气单元连接;所述抽气单元包括用于回收清洗液的清洗箱以及用于排出所述清洗箱内清洗液的排液管路,所述排泡管路的第二端与所述排液管路连通,且所述清洗箱的位置低于所述聚泡器的位置。
2.如权利要求1所述的显影排泡装置,其特征在于,所述聚泡器为聚泡网罩,所述回收管路的第二端伸入所述聚泡网罩内。
3.如权利要求2所述的显影排泡装置,其特征在于,所述排泡管路为弯折管,从所述排泡管路的第一端到所述排泡管路的弯折处为吸泡段,从所述排泡管路的弯折处到所述排泡管路的第二端为排泡段,所述吸泡段竖直设置或者沿气泡的流动方向向上倾斜,所述排泡段沿气泡的流动方向向下倾斜。
4.如权利要求1-3中任一项所述的显影排泡装置,其特征在于,所述回收管路上设置有调节阀。
5.如权利要求4所述的显影排泡装置,其特征在于,所述调节阀为电磁阀或者气动阀。
6.如权利要求5所述的显影排泡装置,其特征在于,所述回收管路的部分或者全部为透明管。
7.一种显影机,其特征在于,所述显影机包括显影单元、如权利要求1-6中任一项所述的显影排泡装置以及用于将所述储液箱内的显影液送入所述显影单元的送液管路,所述回收管路的第一端与所述显影单元连接。
8.如权利要求7所述的显影机,其特征在于,所述送液管路上设置有用于泵送显影液的泵。
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