[发明专利]显影排泡装置以及显影机有效
申请号: | 201710153680.4 | 申请日: | 2017-03-15 |
公开(公告)号: | CN107045269B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 李飞 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 装置 以及 | ||
本发明公开一种显影排泡装置以及显影机,其中,该显影排泡装置包括储液箱;回收管路,所述回收管路的第一端用于回收显影液且第二端与所述储液箱连通;聚泡器,所述聚泡器用于收集所述储液箱内的气泡;以及,排泡组件,所述排泡组件用于将所述聚泡器内的气泡排出。本发明技术方案中,储液箱内设置有收集气泡的聚泡器,并通过排泡组件能够将聚泡器内的气泡排出,以降低显影液中的气泡含量。经喷嘴将显影液涂覆于玻璃基板时,显影液中气泡含量较少,从而能够防止涂覆显影液时因气泡造成的涂覆不均匀,因而能够大幅降低玻璃基板的不良率,进而降低液晶面板的生产成本。
技术领域
本发明涉及制造领域,尤其涉及一种显影排泡装置以及显影机。
背景技术
随着经济的发展,人们生活水平提高,各种电器产品(例如,电视机、电脑等)已经融入了我们的生活,而电器产品上的液晶面板是影响电器产品的性能以及用户体验的关键因素。其中,在液晶面板的黄光阵列制程中,利用显影机台涂覆显影液,经喷嘴涂覆后剩余的显影液从与储液箱相连的回收管路落下,最后流入储液箱中。由于落下时重力作用会在回收管路内产生诸多气泡,这些气泡随着显影液进入储液箱中,再经与储液箱相连的送液管路进入显影段,气泡会附着在玻璃基板表面,严重影响了显影液涂覆的均匀性,进而使得玻璃基板的不良率升高。
因此,需要提供一种能够将储液箱内的气泡排出的显影排泡装置。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种显影排泡装置,旨在解决储液箱内存在气泡而影响显影液涂覆均匀性的问题。
为实现上述目的,本发明提出的显影排泡装置包括储液箱;回收管路,所述回收管路的第一端用于回收显影液且第二端与所述储液箱连通;聚泡器,所述聚泡器用于收集所述储液箱内的气泡;以及,排泡组件,所述排泡组件用于将所述聚泡器内的气泡排出。
可选地,所述聚泡器为聚泡网罩,所述回收管路的第二端伸入所述聚泡网罩内。
可选地,所述排泡组件包括抽气单元以及排泡管路,所述排泡管路的第一端与所述聚泡网罩连通且所述排泡管路的第二端与所述抽气单元连接。
可选地,所述抽气单元包括用于回收清洗液的清洗箱以及用于排出所述清洗箱内清洗液的排液管路,所述排泡管路的第二端与所述排液管路连通,且所述清洗箱的位置低于所述聚泡网罩的位置。
可选地,所述排泡管路为弯折管,从所述排泡管路的第一端到所述排泡管路的弯折处为吸泡段,从所述排泡管路的弯折处到所述排泡管路的第二端为排泡段,所述吸泡段竖直设置或者沿气泡的流动方向向上倾斜,所述排泡段沿气泡的流动方向向下倾斜。
可选地,所述回收管路上设置有调节阀。
可选地,所述调节阀为电磁阀或者气动阀。
可选地,所述回收管路的部分或者全部为透明管。
进一步地,一种显影机,其包括显影单元、如上所述的显影排泡装置以及用于将所述储液箱内的显影液送入所述显影单元的送液管路,所述回收管路的第一端与所述显影单元连接。
可选地,所述送液管路上设置有用于泵送显影液的泵。
本发明技术方案中,储液箱内设置有收集气泡的聚泡器,并通过排泡组件能够将聚泡器内的气泡排出,以降低显影液中的气泡含量。经喷嘴将显影液涂覆于玻璃基板时,显影液中气泡含量较少,从而能够防止涂覆显影液时因气泡造成的涂覆不均匀,因而能够大幅降低玻璃基板的不良率,进而降低液晶面板的生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
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