[发明专利]靶材组件的制造方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：

提供背板以及焊接于所述背板上的初始靶坯，所述初始靶坯包括与所述背板和初始靶坯的焊接面相对的溅射面、以及位于所述焊接面和溅射面之间的第一侧面，且所述初始靶坯凸出于所述焊接面；

沿所述背板指向所述初始靶坯的方向，对所述第一侧面进行车削加工，所述车削加工后的初始靶坯作为靶坯，所述靶坯与所述背板构成靶材组件；

所述背板包括与所述焊接面相对的背面、以及位于所述焊接面和背面之间的第二侧面；

对所述第一侧面进行车削加工后，所述第一侧面与所述第二侧面齐平。

2.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述靶坯为含钨靶坯。

3.如权利要求1或2所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述靶坯的材料为钨或钨钛。

4.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述初始靶坯的形状为圆柱体，所述焊接面的形状为圆形。

5.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，对所述第一侧面进行车削加工的步骤包括：对所述第一侧面进行粗车加工；在所述粗车加工后，对所述第一侧面进行精车加工。

6.如权利要求5所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，采用80度外圆开粗刀，对所述第一侧面进行粗车加工，且所述80度外圆开粗刀沿所述背板指向所述初始靶坯的方向对所述第一侧面进行切削；

所述粗车加工的参数包括：切削速度为19.9毫米/分钟至20.1毫米/每分钟，吃刀量为0.05毫米至0.2毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟。

7.如权利要求5所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，在所述粗车加工后，加工余量为0.4毫米至0.6毫米。

8.如权利要求5所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，采用30度内圆精车刀，对所述第一侧面进行精车加工，且所述30度内圆精车刀沿所述背板指向所述初始靶坯的方向对所述第一侧面进行切削；

所述精车加工的参数包括：切削速度为19.9毫米/分钟至20.1毫米/每分钟，吃刀量为0.05毫米至0.1毫米，所述初始靶坯的转速为200转/分钟至300转/分钟。