[发明专利]靶坯及其加工方法在审
| 申请号： | 201710159600.6 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN108620813A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李力平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面螺纹 焊接 背板 焊接面 牙型 靶材组件 机械加工 溅射面 附着力 加工 焊接不良 粗糙度 均匀度 对靶 脱焊 嵌入 | ||
1.一种靶坯的加工方法，其特征在于，包括：
提供靶坯，所述靶坯具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；
对所述焊接面进行机械加工，在所述焊接面上形成平面螺纹，所述平面螺纹的牙型为三角形。
2.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述平面螺纹的牙型角为50度至70度。
3.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述平面螺纹的螺距为0.6毫米至0.8毫米。
4.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述平面螺纹的螺高为0.51毫米至0.71毫米。
5.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述机械加工的工艺为车削加工；
对所述焊接面进行机械加工的步骤包括：提供螺纹刀片；采用所述螺纹刀片对所述焊接面进行粗车加工；对所述焊接面进行粗车加工后，采用所述螺纹刀片对所述焊接面进行精车加工。
6.如权利要求5所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述靶坯的形状为圆柱体；对所述焊接面进行机械加工的步骤中，所述螺纹刀片以所述焊接面圆心为起点沿径向进行移动。
7.如权利要求5所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述平面螺纹的牙型角为60度；所述螺纹刀片为60度螺纹刀片。
8.如权利要求5所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述粗车加工的次数为5次，所述粗车加工的参数包括：吃刀量为0.09毫米至0.11毫米，靶坯转速为190转/分钟至210转/分钟。
9.如权利要求5所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述精车加工的次数为1次，所述精车加工的参数包括：吃刀量为0.009毫米至0.011毫米，靶坯转速为190转/分钟至210转/分钟。
10.如权利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述靶坯的材料为高纯铝，高纯铝中铝的含量为99.9％至99.999％。
11.一种靶坯，其特征在于，包括：
溅射面；
与所述溅射面相对的焊接面，所述焊接面上具有平面螺纹，所述平面螺纹的牙型为三角形。
12.如权利要求11所述的靶坯，其特征在于，所述平面螺纹的牙型角为50度至70度。
13.如权利要求11所述的靶坯，其特征在于，所述平面螺纹的螺距为0.6毫米至0.8毫米。
14.如权利要求11所述的靶坯，其特征在于，所述平面螺纹的螺高为0.51毫米至0.71毫米。
15.如权利要求11所述的靶坯，其特征在于，所述靶坯的材料为高纯铝，高纯铝中铝的含量为99.9％至99.999％。
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