[发明专利]靶坯及其加工方法

说明书

本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，靶坯具有溅射面以及与溅射面相对的焊接面；对焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹，平面螺纹的牙型为三角形。本发明对靶坯的焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹且平面螺纹的牙型为三角形；一方面，通过平面螺纹，可以增加焊接面的粗糙度、均匀度以及附着力，另一方面，平面螺纹的牙型为三角形，在将靶坯与背板进行焊接时，可以使平面螺纹嵌入至背板内；因此结合以上两个方面，在将靶坯与背板进行焊接以形成靶材组件时，使靶坯和背板之间的焊接强度得到提高，有效防止靶坯和背板之间发生焊接不良或脱焊的问题，从而提高所形成靶材组件的性能。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种靶坯及其加工方法。

背景技术

溅射技术是半导体制造领域的常用工艺之一，随着溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。

在溅射靶材制造领域中，靶材组件是由符合溅射性能的靶坯、与靶坯通过焊接相结合的背板构成。在溅射过程中，靶材组件所处的工作环境比较恶劣。例如：靶材组件的背板一侧通过一定压力的冷却水强冷，而靶坯一侧则处于高温真空环境下，因此在靶材组件的相对两侧形成巨大的压力差；再者，靶坯一侧受到高压电场和强磁场中各种粒子的轰击，有大量热量产生。在如此恶劣的环境下，为了确保薄膜质量的稳定性以及靶材组件的质量，对靶坯和背板的质量以及焊接结合率的要求越来越高，否则容易导致所述靶材组件在受热条件下发生变形、开裂等问题，从而影响成膜质量，甚至对溅射基台造成损伤。

但是，现有技术靶材组件的性能有待提高。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种靶坯及其加工方法，提高靶材组件的性能。

为解决上述问题，本发明提供一种靶坯的加工方法，包括：提供靶坯，所述靶坯具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行机械加工，在所述焊接面上形成平面螺纹，所述平面螺纹的牙型为三角形。

可选的，所述平面螺纹的牙型角为50度至70度。

可选的，所述平面螺纹的螺距为0.6毫米至0.8毫米。

可选的，所述平面螺纹的螺高为0.51毫米至0.71毫米。

可选的，所述机械加工的工艺为车削加工；对所述焊接面进行机械加工的步骤包括：提供螺纹刀片；采用所述螺纹刀片对所述焊接面进行粗车加工；对所述焊接面进行粗车加工后，采用所述螺纹刀片对所述焊接面进行精车加工。

可选的，所述靶坯的形状为圆柱体；对所述焊接面进行机械加工的步骤中，所述螺纹刀片以所述焊接面圆心为起点沿径向进行移动。

可选的，所述平面螺纹的牙型角为60度；所述螺纹刀片为60度螺纹刀片。

可选的，所述粗车加工的次数为5次，所述粗车加工的参数包括：吃刀量为0.09毫米至0.11毫米，靶坯转速为190转/分钟至210转/分钟。

可选的，所述精车加工的次数为1次，所述精车加工的参数包括：吃刀量为0.009毫米至0.011毫米，靶坯转速为190转/分钟至210转/分钟。

可选的，所述靶坯的材料为高纯铝，高纯铝中铝的含量为99.9％至99.999％。

相应的，本发明提供一种靶坯，包括：溅射面；与所述溅射面相对的焊接面，所述焊接面上具有平面螺纹，所述平面螺纹的牙型为三角形。

可选的，所述平面螺纹的牙型角为50度至70度。

可选的，所述平面螺纹的螺距为0.6毫米至0.8毫米。

可选的，所述平面螺纹的螺高为0.51毫米至0.71毫米。