[发明专利]检查夹具、检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查夹具，夹持电路基板，该电路基板在基体上设有被检查电极，在所述基体的设有所述被检查电极的面上层叠有绝缘性的保护部件，

该检查夹具的特征在于，包括：

第一夹持部，其具有第一夹持面，并且包含支承台；

第二夹持部，其具有与所述第一夹持面对置配置的第二夹持面，并且包含在所述第二夹持面上设有检测电极的传感器基板；

在所述第一夹持部设有电极间距离调整部，所述电极间距离调整部在所述第一夹持部和所述第二夹持部以所述被检查电极与所述检测电极对置的方式夹持所述电路基板时，对所述检测电极与所述被检查电极的距离进行调整，以使所述检测电极紧贴于所述保护部件，从而对所述支承台的凹凸、所述电路基板的凹凸以及所述传感器基板的表面的凹凸的至少一方进行吸收，

所述电极间距离调整部是以从所述第一夹持部的夹持面突出的方式设置的弹性部件。

2.根据权利要求1所述的检查夹具，

所述电极间距离调整部包括利用多个不同的材料形成而具有不同弹性率的弹性部件。

3.根据权利要求2所述的检查夹具，

在对所述电路基板进行夹持时，在所述弹性部件的与配置有所述被检查电极的位置对应的区域设有弹性率相对较高的第一部件，在所述弹性部件的除此之外的区域设有弹性率相对较低的第二部件。

4.根据权利要求2所述的检查夹具，

所述弹性部件在夹持方向即厚度方向上从所述电路基板侧依次包括弹性率相对较高的第一层和弹性率相对较低的第二层。

5.根据权利要求1所述的检查夹具，

所述电极间距离调整部还包括在所述第二夹持部上设置的检查探头，

所述检测电极包括所述检查探头的前端，

所述检查探头的前端从所述第二夹持面突出，能够在与所述第二夹持面大致正交的方向上往复移动。

6.根据权利要求5所述的检查夹具，

所述检查探头的前端是被施力部件施力的探针。

7.一种检查装置，其特征在于，包括：

电路基板夹持部，其包括权利要求1至权利要求6中任一项所述的检查夹具；

试验信号发生部，其生成向所述被检查电极输入的试验信号；

电信号测定部，其对所述检测电极所检测到的电信号进行测定。

8.一种检查方法，其特征在于，包括：

夹持步骤，利用第一夹持部和第二夹持部来夹持电路基板，该电路基板在基体上设有被检查电极，并且在所述基体的设有所述被检查电极的面上层叠有绝缘性的保护部件，所述第一夹持部具有第一夹持面，并且包含支承台，所述第二夹持部具有与所述第一夹持面对置配置的第二夹持面，并且包含在所述第二夹持面上设有检测电极的传感器基板；

信号输入步骤，向所述被检查电极输入试验信号；

测定步骤，经由所述保护部件对与所述被检查电极对置配置的检测电极所检测到的电信号进行测定；

在所述夹持步骤中，通过以从所述第一夹持面突出的方式设置于所述第一夹持部的弹性部件对所述检测电极与所述被检查电极的距离进行调整，以使所述检测电极紧贴于所述保护部件，从而对所述支承台的凹凸、所述电路基板的凹凸以及所述传感器基板的表面的凹凸的至少一方进行吸收。

9.根据权利要求8所述的检查方法，

在所述夹持步骤中，由多个不同的材料形成从而具有不同的弹性率的所述弹性部件对所述检测电极与所述被检查电极的距离进行调整。

10.根据权利要求9所述的检查方法，

在对所述电路基板进行夹持时，在所述弹性部件的与配置有所述被检查电极的位置对应的区域设有弹性率相对较高的第一部件，在所述弹性部件的除此之外的区域设有弹性率相对较低的第二部件，由此，在所述夹持步骤中，在对所述电路基板进行夹持时，在与配置有所述被检查电极的位置对应的区域之外，能够抑制所述弹性部件的弹性变形。