[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体及坩埚盖，所述坩埚本体用于盛放蒸发材料，所述坩埚盖设于所述坩埚本体上，并与所述坩埚本体相间隔，所述坩埚盖具有朝向所述坩埚本体的盖面，所述坩埚盖的盖面上设有多个相间隔设置的挡板，所述挡板的一端固定于所述坩埚盖，另一端朝向所述坩埚本体延伸，所述挡板及所述坩埚盖用于承载所述蒸镀坩埚中受热蒸发的所述蒸发材料，在从所述盖面的中心区域至周边区域的方向，所述挡板的另一端朝向所述坩埚本体的延伸长度逐渐增加。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述挡板包括安装部与承载部，所述安装部可拆卸地固定于所述盖面，以便于拆卸所述挡板，所述承载部朝向所述坩埚本体方向延伸，用于沉积所述蒸发材料。

3.根据权利要求2所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述盖面为圆弧形，包括中心区域和围绕所述中心区域的周边区域，多个所述挡板设于所述周边区域，且设于所述中心区域的相对两侧。

4.根据权利要求3所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述挡板在垂直方向的投影落入所述坩埚本体内。

5.根据权利要求4所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述挡板沿着所述盖面的径向相对设置，且所述承载部朝向所述坩埚本体的延伸方向与所述盖面的轴向相交；沿着所述盖面的所述中心区域至所述周边区域的方向，所述承载部朝向所述坩埚本体的延伸方向与所述盖面轴向的夹角值逐渐增大。

6.根据权利要求5所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述挡板为弧形板，且所述挡板的承载部沿着所述盖面的周向延伸，所述挡板与沿径向相邻的所述挡板及夹设于两者之间的所述盖面形成沟道，所述沟道沿着所述盖面的周向延伸。

7.根据权利要求4所述的一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述挡板的承载部沿着所述盖面的径向延伸，所述挡板与相邻的所述挡板及夹设于两者之间的所述盖面形成沟道，所述沟道沿着所述盖面的径向延伸。

8.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的蒸镀坩埚。