[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置

说明书

本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及坩埚盖，所述坩埚本体用于盛放蒸发材料，所述坩埚盖设于所述坩埚本体上，并与所述坩埚本体相间隔，所述坩埚盖内设有多个相间隔设置的挡板，所述挡板一端固定于所述坩埚盖，另一端朝向所述坩埚本体延伸，所述挡板及所述坩埚盖用于承载所述蒸镀坩埚中受热蒸发的所述蒸发材料。本发明还提供了一种蒸镀装置。本发明提供的蒸镀坩埚和蒸镀装置可减少坩埚盖上的沉积材料脱落及防止沉积材料堵塞蒸发源。

技术领域

本发明涉及OLED显示技术领域，具体涉及一种OLED显示器件制备工艺中的一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Display，有机电致发光显示器件)具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势，近几年在显示领域产业化速度突飞猛进。

在OLED材料的蒸镀过程中，在真空环境下，将OLED材料放置于盖有坩埚盖的坩埚中，用电阻丝加热方式加热坩埚，使得坩埚中的OLED材料受热后由固态转化为熔融态进而蒸发。当OLED材料的蒸发速率达到要求并稳定后，打开坩埚盖，OLED材料便以稳定的蒸发速率进行蒸镀。其中，坩埚内的OLED材料在蒸发速率稳定前会在坩埚盖内表面集结。坩埚盖上的OLED材料累积到一定厚度后，由于重力作用，会脱离坩埚盖而落入坩埚中。现有的坩埚盖为光滑的圆弧盖面，沉积于坩埚盖上的OLED材料大多以大尺寸的薄片结构脱离并落入坩埚中，大尺寸沉积材料极易覆盖蒸发源，使得OLED材料无法蒸发，蒸镀工艺无法继续进行，这种情况下，只能开腔清理及重新进行蒸镀过程，严重影响到生产、实验进度及器件性能。

因此，如何减少坩埚盖上沉积的蒸发材料脱落至坩埚中，防止堵塞蒸发源，是本领域技术人员亟需解决的技术问题之一。

发明内容

针对以上的问题，本发明的目的是提供一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，减少坩埚盖上沉积的蒸发材料脱落至坩埚中，防止堵塞蒸发源。

为了解决背景技术中存在的问题，本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及坩埚盖，所述坩埚本体用于盛放蒸发材料，所述坩埚盖设于所述坩埚本体上，并与所述坩埚本体相间隔，所述坩埚盖内设有多个相间隔设置的挡板，所述挡板一端固定于所述坩埚盖，另一端朝向所述坩埚本体延伸，所述挡板及所述坩埚盖用于承载所述蒸镀坩埚中受热蒸发的所述蒸发材料。

其中，所述坩埚盖包括盖面，所述盖面朝向所述坩埚本体，所述挡板包括安装部与承载部，所述安装部可拆卸地固定于所述盖面，以便于拆卸所述挡板，所述承载部朝向所述坩埚本体方向延伸，用于沉积所述蒸发材料。

其中，所述盖面为圆弧形，包括中心区域和围绕所述中心区域的周边区域，多个所述挡板设于所述周边区域，且设于所述中心区域的相对两侧。

其中，所述挡板在垂直方向的投影落入所述坩埚本体内。

其中，多个所述挡板沿着所述盖面的径向相对设置，且所述承载部朝向所述坩埚本体的延伸方向与所述盖面的轴向相交；沿着所述盖面的所述中心区域至所述周边区域的方向，所述承载部朝向所述坩埚本体的延伸方向与所述盖面轴向的夹角值逐渐增大。

其中，沿着所述盖面的所述中心区域至所述周边区域的方向，所述挡板的所述承载部朝向所述坩埚本体的延伸长度逐渐增加。

其中，所述挡板为弧形板，且所述挡板的承载部沿着所述盖面的周向延伸，所述挡板与径向相邻的所述挡板及夹设于两者之间的所述盖面形成沟道，所述沟道沿着所述盖面的周向延伸。

其中，所述挡板的承载部沿着所述盖面的径向延伸，所述挡板与相邻的所述挡板及夹设于两者之间的所述盖面形成沟道，所述沟道沿着所述盖面的径向延伸。

本发明还提供了一种蒸镀装置，包括上述任一实施方式所述的蒸镀坩埚。