[发明专利]一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法

权利要求书

1.一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，其特征是包括以下步骤：

（1）镁合金除氢：控制气氛炉炉温160~200℃，保温1~2小时；

（2）ALD工作腔准备：确认供气压力，干燥空气气瓶压力为0.45~0.55MPa，反应气源气瓶压力为0.2MPa；设置加热器、腔体、吹扫、热阱温度分别为100℃、100℃、100℃、300℃，开启真空泵、流量计；待温度稳定，关闭加热器、真空泵、空气流量计，充气至压力为760torr；打开工作腔体，放入镁合金试样，关闭腔门，开启真空泵；

（3）ALD制备耐蚀涂层：耐蚀层为任一氧化物、任一氮化物薄膜；薄膜制备过程涉及两种反应气源，其过程为：根据薄膜种类，设置加热器温度、吹扫温度、热阱温度、泵管温度、工艺压力；进入配方页面，设置各气源注气/吹扫时间，气源注气的顺序及总循环次数；第一种反应气源注气，在镁合金表面物理吸附，吹扫未被吸附第一种气体；第二种反应气源注气在镁合金表面，与第一反应气源进行化学反应，吹扫未被吸附第二种气体；其吸附过程和反应过程均具有自限性，以保证薄膜化学组分的分子尺度的精确性；薄膜的厚度是通过循环次数控制，单次循环薄膜厚度一般增加0.05~0.1nm，以保证薄膜整体厚度的纳米级精确性；

（4）ALD工作腔还原：关闭反应气源，设置加热器、腔体、吹扫、热阱温度分别为100℃、100℃、100℃、300℃；待温度稳定，关闭真空泵、流量计、加热器，充气至压力为760torr；打开工作腔体，取出镁合金试样，关闭腔门。

2.根据权利要求1所述的一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，其特征是步骤（3）中所述的氧化物为Al₂O₃、TiO₂或HfO₂。

3.根据权利要求1所述的一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，其特征是步骤（3）中所述的氮化物为InN、AlN或GaN。

4.根据权利要求1所述的一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，其特征是步骤（3）中单层薄膜之上可逐次叠积制备多层薄膜，形成复合层。