[发明专利]透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管

说明书

本公开内容涉及透射型靶和设有透射型靶的X射线发生管。透射型靶包括靶层和被配置为支撑该靶层的透射基板。透射基板具有彼此面对的一对表面，并且由多晶金刚石形成。在透射基板中，所述一对表面中的一个表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶金刚石，第一平均晶粒直径小于与该表面相对的另一个表面上所包括的多晶金刚石的第二平均晶粒直径。靶层由所述一对表面中的任何一个表面支撑。

本申请是于2014年12月5日提交的、题为“透射型靶和设有透 射型靶的X射线发生管”的中国专利申请第201410740256.6号的分案 申请。

技术领域

本公开涉及一种X射线发生管，该X射线发生管可应用于用于医 疗诊断以及工业装置领域中的无损X射线照相的成像装置。本公开具 体地涉及一种应用于X射线发生管的透射型靶。

背景技术

在X射线发生装置中，需要增强耐久性和改进维护减少。

作为确定X射线发生装置的耐久性的主要原因之一，与X射线源 相应的靶的耐热性是一个例子。

在被配置为用电子束照射靶、从而产生X射线辐射的X射线发生 装置中，靶的“X射线发生效率”低于1％。因此，施加于靶的大部分 能量转换为热量。当在靶中产生的热量的“驱散”不足时，靶本身的熔 融、蒸发和热应力使得靶失去粘合性，从而使得靶的耐热性受限。

作为用于改进靶的“X射线发生效率”的技术，利用由含有重金属 的薄膜形式的靶层和被配置为透射X射线并且支撑靶层的基底材料组 成的透射型靶是公知的。日本专利申请公布No.JP 2009-545840(也 被公布为WO 2009060671)公开了一种旋转阳极透射型靶，在该靶中， 相对于相关技术的旋转阳极反射靶，“X射线发生效率”提高到1.5倍 或更高。

作为加速从靶到外部的“散热”的方法，应用金刚石作为被配置为 支撑层压靶的靶层的基底材料是公知的。美国专利No.6850598公开 了通过利用单晶金刚石或多晶金刚石作为被配置为支撑由钨形成的靶 层的基板来增强散热性并且实现精细的焦点。金刚石具有高耐热性和 高导热性，并且具有高X射线透射性，因此，是作为用于支撑透射型 靶的基底材料的优选材料。

发明内容

与单晶金刚石相比，多晶金刚石作为将应用于透射型X射线靶的 透射基板在导热性、耐热性和X射线透射性上具有等同的物理性质。 此外，多晶金刚石包括可以以低价格稳定地供应大小为毫米数量级的 透射型基板的优点。

然而，作为本发明的发明人的检查结果，如美国专利No.6850598 中所描述的透射型靶那样，在具有由多晶金刚石形成的透射基板的透 射型靶中，发现了产生放电或阳极电流降低的缺点或者产生X射线输 出变化的缺点。

本公开描述了设有由多晶金刚石形成的透射基板的透射型靶，在 该靶中，放电的产生、阳极电流的降低和X射线输出变化得以缓解。 另外，本公开描述了在其中放电的产生、阳极电流的降低和X射线输 出变化高可靠性得以缓解的X射线发生管、X射线发生装置和X射线 成像系统。

根据本发明的一方面，透射型靶包括：靶层；以及透射基板，其 被配置为支撑靶层。透射基板包括彼此面对的第一表面和第二表面， 并且由多晶金刚石形成。第一表面包括具有第一平均晶粒直径的多晶 金刚石，第一平均晶粒直径小于其第二表面中所包括的多晶金刚石的 第二平均晶粒直径，并且靶层由第一表面或第二表面支撑。

从以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的进一步的特征 将变得清楚。

附图说明

图1A是例示这里所公开的第一实施例的透射型靶的配置图。

图1B是例示透射型靶在其操作状态下的配置图。

图2A是例示这里所公开的第一实施例的透射型靶被应用到的阳 极的配置图。