[发明专利]激光晶化装置及方法在审
申请号: | 201710178583.0 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN107230612A | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 李洪鲁;朴來喆;李忠焕 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 梁洪源,康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 化装 方法 | ||
1.一种激光晶化装置,包括:
激光振荡器;
工作台,所述工作台被配置为支撑基底,所述基底上设置有目标膜,其中所述激光振荡器被配置为将入射激光束照射到所述目标膜上,其中所述工作台被配置为移动所述基底,使得所述入射激光束扫描所述目标膜,并且其中所述入射激光束从所述目标膜反射以生成反射激光束;以及
反射单元,所述反射单元包括定位在所述反射激光束的路径处的至少两个反射镜,其中所述反射单元被配置为经由与所述入射激光束的路径不同的多条路径将所述反射激光束两次或更多次地重新照射到所述目标膜上。
2.如权利要求1所述的激光晶化装置,其中所述反射激光束是第一反射激光束,
其中所述反射单元包括第一反射镜,所述第一反射镜反射所述第一反射激光束以生成第二反射激光束,并且
其中所述第二反射激光束的路径不同于所述第一反射激光束的路径。
3.如权利要求2所述的激光晶化装置,其中所述反射单元包括第二反射镜,所述第二反射镜被设置为比所述第一反射镜更远离所述目标膜,
其中所述第二反射镜朝着所述目标膜反射所述第二反射激光束以生成第三反射激光束,其中所述第三反射激光束照射到所述目标膜上,并且
其中所述第三反射激光束沿垂直于所述目标膜的表面的方向照射到所述目标膜上。
4.如权利要求3所述的激光晶化装置,其中所述第三反射激光束从所述目标膜反射以生成第四反射激光束,其中所述第四反射激光束通过与所述第三反射激光束的路径相同的路径行进,
其中所述第二反射镜反射所述第四反射激光束以生成第五反射激光束,其中所述第五反射激光束通过与所述第二反射激光束的所述路径相同的路径行进,并且
所述第一反射镜反射所述第五反射激光束以生成第六反射激光束,其中所述第六反射激光束通过与所述第一反射激光束的所述路径相同的路径行进,并且所述第六反射激光束照射到所述目标膜上。
5.如权利要求2所述的激光晶化装置,其中所述反射单元包括:
第二反射镜,所述第二反射镜沿着平行于所述目标膜的表面的方向与所述第一反射镜间隔开;以及
第三反射镜,所述第三反射镜被设置为比所述第一反射镜和所述第二反射镜更靠近所述目标膜。
6.如权利要求5所述的激光晶化装置,其中所述第二反射镜朝着所述目标膜反射所述第二反射激光束以生成第三反射激光束,其中所述第三反射激光束照射到所述目标膜上,
其中所述目标膜反射所述第三反射激光束以生成第四反射激光束,
其中所述第三反射镜朝着所述目标膜反射所述第四反射激光束以生成第五反射激光束,其中所述第五反射激光束照射到所述目标膜上,并且
其中所述第五反射激光束的路径与所述第四反射激光束的路径相同。
7.如权利要求6所述的激光晶化装置,其中所述目标膜反射所述第五反射激光束以生成第六反射激光束,
其中所述第二反射镜反射所述第六反射激光束以生成第七反射激光束,其中所述第七反射激光束具有与所述第二反射激光束的所述路径相同的路径,并且
其中所述第一反射镜反射所述第七反射激光束以生成第八反射激光束,其中所述第八反射激光束具有与所述第一反射激光束的所述路径相同的路径,并且所述第八反射激光束照射到所述目标膜上。
8.如权利要求5所述的激光晶化装置,其中所述反射单元还包括:
沿着平行于所述目标膜的所述表面的方向与所述第三反射镜间隔开的第四反射镜;以及
比所述第三反射镜和所述第四反射镜更靠近所述目标膜设置的第五反射镜。
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